[实用新型]一种芯片运转机构有效
申请号: | 201922201051.1 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN211150531U | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 张俞峰 | 申请(专利权)人: | 昆山沃得福自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 赵红霞 |
地址: | 215300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 运转 机构 | ||
本实用新型揭示了一种芯片运转机构,用于三个线性相间隔工位之间的芯片周转,包括芯片拾取部、用于驱动芯片拾取部的第一位移驱动部、及用于驱动第一位移驱动部的第二位移驱动部,第一跨度位移为任意相邻两个工位之间的跨度,第二跨度位移与第一跨度位移的总跨度为相远离两个工位之间的跨度。本实用新型满足芯片拾取部在三个线性间隔工位之间的位置度切换运转需求,能实现三个工位之间的芯片周转。通过第一、二位移驱动部的机械行程设计,实现芯片拾取部与工位之间的固定落点对位,运行稳定高效,且控制设定方便,具备成本优势。具备一定行程的拱形跨幅,能跳跃障碍,降低芯片拾取部的升降行程需求,拾取对位精度得到保障,同时运行更流畅高效。
技术领域
本实用新型涉及一种芯片运转机构,属于芯片拾取运转工位切换的技术领域。
背景技术
芯片是现代化生产中的一种核心半导体元件,而芯片需要进行烧制作业及包装。芯片为颗粒状结构,一般会采用托盘封装或芯片卷带包装。
芯片卷带包装为芯片卷盘,芯片卷带上具备连续的装载槽位,而芯片装载在装载槽位内,并由热封膜进行封装。
在生产过程中,需要将芯片卷带上的热封膜进行去除,将内部装载的芯片拾取出进行烧制作业,烧制完成后再放入芯片卷带中进行热封。因此涉及到在放卷带与烧制载座之间进行芯片来回运转的机构,从而满足其取放需求。
而在一些特殊要求的芯片加工作业中,需要将芯片卷带上的芯片拾取烧制后,放入新的芯片卷带中。因此会出现三个线性地且相互间隔的工位,对运转机构的运转行程及对位精度均要求较高,一般需要采用高精度机械臂进行芯片周转,其成本非常昂贵。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决上述现有技术的不足,针对多工位芯片周转行程复杂的问题,提出一种芯片运转机构。
为了达到上述目的,本实用新型所采用的技术方案为:
一种芯片运转机构,用于三个线性相间隔工位之间的芯片周转,
包括负压吸附端具备升降位移行程的芯片拾取部、用于驱动所述芯片拾取部进行第一跨度位移的第一位移驱动部、及用于驱动所述第一位移驱动部进行第二跨度位移的第二位移驱动部,
所述第一跨度位移为任意相邻两个工位之间的跨度,所述第二跨度位移与所述第一跨度位移的总跨度为相远离两个工位之间的跨度。
优选地,所述第一位移驱动部包括基架体,所述基架体上设有旋转驱动源和水平滑轨,所述水平滑轨上滑动设置有滑块,所述滑块上设有具备垂直向滑槽的载板,
所述旋转驱动源的旋转端设有摇臂,所述摇臂上设有穿过所述垂直向滑槽与所述芯片拾取部相活动连接的连接销,所述载板上设有用于对所述芯片拾取部的负压吸附端进行垂直向导向的导向部。
优选地,所述导向部上设有滑配通道,所述负压吸附端的杆体滑动配接在所述滑配通道内。
优选地,所述芯片拾取部包括用于驱动所述负压吸附端的杆体升降位移的升降驱动源、及用于固定所述升降驱动源的载座,所述连接销的自由端与所述载座之间具备自旋转位移,所述导向部上设有垂直向设置的导向杆,所述载座滑动配接在所述导向杆上。
优选地,所述第二位移驱动部包括与所述基架体相线性滑动配接的滑座、及用于驱动所述基架体在所述滑座上线性往复位移的线性驱动源。
优选地,所述线性驱动源为旋转电机,所述旋转电机的旋转端通过凸轮传动摇臂与所述基架体相传动连接。
本实用新型的有益效果主要体现在:
1.满足芯片拾取部在三个线性间隔工位之间的位置度切换运转需求,能实现三个工位之间的芯片周转。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造