[实用新型]槽式设备及其风道结构有效
申请号: | 201921956590.X | 申请日: | 2019-11-13 |
公开(公告)号: | CN210628256U | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 左国军;王靖;郑重一 | 申请(专利权)人: | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 尹彦 |
地址: | 213000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 设备 及其 风道 结构 | ||
1.一种槽式设备的风道结构,所述槽式设备包含至少2个处理槽,其特征在于,所述风道结构包括分别设置在每一个处理槽两端的进风装置和出风装置,对所述出风装置进行抽风使每一个处理槽的进风装置和出风装置之间形成独立风道的抽风装置。
2.如权利要求1所述的槽式设备的风道结构,其特征在于,所述进风装置包括设置在槽式设备门板上的第一进风口和设于所述第一进风口处的第一过滤器。
3.如权利要求2所述的槽式设备的风道结构,其特征在于,所述进风装置还包括设置在所述槽式设备顶部与第一进风口处于处理槽相同端的第二进风口,设于所述第二进风口处的第二过滤器。
4.如权利要求3所述的槽式设备的风道结构,其特征在于,所述出风装置包括轴向与槽式设备的门板平行的抽风道,所述抽风道的进风口在所述槽式设备内的高度位于所述第一、第二进风口之间,所述抽风道的出风口位于所述槽式设备的顶部,且相对所述处理槽位于所述第一、第二进风口的相对端。
5.如权利要求4所述的槽式设备的风道结构,其特征在于,所述槽式设备的相对门板的另一端设有设备仓,所述抽风道与所述设备仓相邻设置,所述设备仓设有连通所述抽风道的出风口,所述出风口处设有可调节出风开度的挡板。
6.如权利要求2所述的槽式设备的风道结构,其特征在于,所述门板上设有透明窗。
7.如权利要求1所述的槽式设备的风道结构,其特征在于,所述各处理槽对应的独立风道相互平行。
8.一种槽式设备,其特征在于,所述槽式设备采用了如权利要求1至7任意一项所述的风道结构。
9.如权利要求8所述的槽式设备,其特征在于,所述槽式设备为清洗设备或湿法处理设备。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造