[实用新型]一种用于芯片分离的治具有效

专利信息
申请号: 201921840490.0 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN210379009U 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 乔红伟;杨纯利 申请(专利权)人: 紫光宏茂微电子(上海)有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 上海市嘉华律师事务所 31285 代理人: 黄琮
地址: 201700 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 芯片 分离
【说明书】:

本实用新型实施例公开了一种用于芯片分离的治具。本实用新型的用于芯片分离的治具,包括:底座、支撑柱、载具、滚珠和弹簧,支撑柱设置在底座上,载具设置在支撑柱的顶端,载具设有容置通槽,容置通槽的顶端的孔径小于滚珠的外径,滚珠可滚动的设置在容置通槽内,且滚珠的顶端凸出于容置通槽,弹簧设置在容置通槽内,弹簧的底端与支撑柱抵持,顶端与滚珠的底部抵持。本实用新型的用于芯片分离的治具,使用时,将基板/导线架贴有贴布的背面按压在滚珠上往复移动,通过滚珠的滚动使贴布松弛,贴布上相邻的单颗芯片之间的间隙变大,且贴布与芯片之间的粘力变小,将芯片剥离取出时,芯片与相邻芯片之间不会发生碰撞而造成崩缺的缺陷。

技术领域

本实用新型实施例涉及芯片技术领域,具体涉及一种用于芯片分离的治具。

背景技术

晶圆是加工芯片的原材料,每块晶圆可制作成多块芯片,初加工后的晶圆贴装到相应的基板/导线架的小岛上,再利用超细的金属(金银铜铝)导线或者导电性树脂将晶片的接合焊盘(Bond Pad)连接到基板/导线架的相应引脚(Lead)上,构成所要求的电路(芯片)。

基板/导线架为矩形薄板,芯片加工完成后,通过贴片机将基板/导线架的背面粘贴在贴布上,然后放入机台,将芯片切割成单颗的产品,最后操作员将单颗产品(芯片)从贴布上剥离。

本申请的发明人发现,现有技术中操作员将芯片从贴布上剥离时,由于芯片粘连在贴布上,且由于芯片之间的切割槽很细小,相邻芯片之间缝隙很小,芯片剥离取出时容易因相邻芯片的碰撞造成芯片的崩缺。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于芯片分离的治具,使基板/导线架上相邻芯片之间的缝隙变大,方便芯片的剥离。

本实用新型实施例提供一种用于芯片分离的治具,包括:底座、支撑柱、载具、滚珠和弹簧;

所述支撑柱设置在所述底座上;

所述载具设置在所述支撑柱的顶端;

所述载具设有容置通槽,所述容置通槽的顶端的孔径小于所述滚珠的外径,所述滚珠可滚动的设置在所述容置通槽内,且所述滚珠的顶端凸出于所述容置通槽;

所述弹簧设置在所述容置通槽内,所述弹簧的底端与所述支撑柱抵持,所述弹簧的顶端与所述滚珠的底部抵持

在一种可行的方案中,所述支撑柱的顶端设有第一安装盘,所述第一安装盘设有多个第一螺纹孔;

所述载具设有第二安装盘,所述第二安装盘设有多个第一通孔,所述多个第一通孔与所述多个第一螺纹孔对应,使所述载具通过连接螺栓与所述支撑柱可拆卸连接。

在一种可行的方案中,所述第一安装盘设有第一凹槽,所述第一凹槽用于供所述第二安装盘嵌入。

在一种可行的方案中,所述底座设有第二通孔,所述第二通孔为台阶孔;

所述支撑柱的底部设有第二螺纹孔,所述第二螺纹孔与所述第二通孔对应,使所述支撑柱与所述底座通过螺栓可拆卸连接。

在一种可行的方案中,所述底座的顶面上设有第二凹槽,所述第二通孔位于所述第二凹槽处,所述第二凹槽用于供所述支撑柱插入。

在一种可行的方案中,所述支撑柱的顶端设有安装槽,所述安装槽用于供所述弹簧嵌入。

在一种可行的方案中,所述载具的材质为铜。

在一种可行的方案中,所述支撑柱的侧壁上设有气体接头,所述支撑柱内设有气体通道,所述气体通道的顶端与所述容置通槽连通,所述气体通道的底端与所述气体接头连通,所述气体接头用于外接气源。

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