[实用新型]一种用于芯片分离的治具有效
申请号: | 201921840490.0 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN210379009U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 乔红伟;杨纯利 | 申请(专利权)人: | 紫光宏茂微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67 |
代理公司: | 上海市嘉华律师事务所 31285 | 代理人: | 黄琮 |
地址: | 201700 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 分离 | ||
本实用新型实施例公开了一种用于芯片分离的治具。本实用新型的用于芯片分离的治具,包括:底座、支撑柱、载具、滚珠和弹簧,支撑柱设置在底座上,载具设置在支撑柱的顶端,载具设有容置通槽,容置通槽的顶端的孔径小于滚珠的外径,滚珠可滚动的设置在容置通槽内,且滚珠的顶端凸出于容置通槽,弹簧设置在容置通槽内,弹簧的底端与支撑柱抵持,顶端与滚珠的底部抵持。本实用新型的用于芯片分离的治具,使用时,将基板/导线架贴有贴布的背面按压在滚珠上往复移动,通过滚珠的滚动使贴布松弛,贴布上相邻的单颗芯片之间的间隙变大,且贴布与芯片之间的粘力变小,将芯片剥离取出时,芯片与相邻芯片之间不会发生碰撞而造成崩缺的缺陷。
技术领域
本实用新型实施例涉及芯片技术领域,具体涉及一种用于芯片分离的治具。
背景技术
晶圆是加工芯片的原材料,每块晶圆可制作成多块芯片,初加工后的晶圆贴装到相应的基板/导线架的小岛上,再利用超细的金属(金银铜铝)导线或者导电性树脂将晶片的接合焊盘(Bond Pad)连接到基板/导线架的相应引脚(Lead)上,构成所要求的电路(芯片)。
基板/导线架为矩形薄板,芯片加工完成后,通过贴片机将基板/导线架的背面粘贴在贴布上,然后放入机台,将芯片切割成单颗的产品,最后操作员将单颗产品(芯片)从贴布上剥离。
本申请的发明人发现,现有技术中操作员将芯片从贴布上剥离时,由于芯片粘连在贴布上,且由于芯片之间的切割槽很细小,相邻芯片之间缝隙很小,芯片剥离取出时容易因相邻芯片的碰撞造成芯片的崩缺。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于芯片分离的治具,使基板/导线架上相邻芯片之间的缝隙变大,方便芯片的剥离。
本实用新型实施例提供一种用于芯片分离的治具,包括:底座、支撑柱、载具、滚珠和弹簧;
所述支撑柱设置在所述底座上;
所述载具设置在所述支撑柱的顶端;
所述载具设有容置通槽,所述容置通槽的顶端的孔径小于所述滚珠的外径,所述滚珠可滚动的设置在所述容置通槽内,且所述滚珠的顶端凸出于所述容置通槽;
所述弹簧设置在所述容置通槽内,所述弹簧的底端与所述支撑柱抵持,所述弹簧的顶端与所述滚珠的底部抵持
在一种可行的方案中,所述支撑柱的顶端设有第一安装盘,所述第一安装盘设有多个第一螺纹孔;
所述载具设有第二安装盘,所述第二安装盘设有多个第一通孔,所述多个第一通孔与所述多个第一螺纹孔对应,使所述载具通过连接螺栓与所述支撑柱可拆卸连接。
在一种可行的方案中,所述第一安装盘设有第一凹槽,所述第一凹槽用于供所述第二安装盘嵌入。
在一种可行的方案中,所述底座设有第二通孔,所述第二通孔为台阶孔;
所述支撑柱的底部设有第二螺纹孔,所述第二螺纹孔与所述第二通孔对应,使所述支撑柱与所述底座通过螺栓可拆卸连接。
在一种可行的方案中,所述底座的顶面上设有第二凹槽,所述第二通孔位于所述第二凹槽处,所述第二凹槽用于供所述支撑柱插入。
在一种可行的方案中,所述支撑柱的顶端设有安装槽,所述安装槽用于供所述弹簧嵌入。
在一种可行的方案中,所述载具的材质为铜。
在一种可行的方案中,所述支撑柱的侧壁上设有气体接头,所述支撑柱内设有气体通道,所述气体通道的顶端与所述容置通槽连通,所述气体通道的底端与所述气体接头连通,所述气体接头用于外接气源。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造