[实用新型]一种缓存平台

说明书

一种缓存平台，包括放置平台以及设于放置平台四周的支撑柱；放置平台被配置为暂存石英花篮，支撑柱用于石英花篮的导向，确保石英花篮放置于放置平台内，支撑柱至少有四个，分布于放置平台的四周；本实用新型的缓存平台解决了光伏、半导体材料在实际生产中，流水线上空余石英花篮资源浪费的问题，提高了加工效率；支撑柱用于石英花篮的导向，确保石英花篮放位精准，放置于放置平台内；检测装置能够区别放置平台上是否有石英花篮，方便装置的自动化控制；各个零件的可拆卸设计，方便装置的运输以及组装。

技术领域

本实用新型涉及半导体/光伏材料加工技术领域，尤其涉及一种用于对调两条流水线上石英花篮的缓存平台。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等，在半导体或光伏材料的热扩散工艺流程中，经常需要通过机械手对两条流水线上加工完的半导体/光伏材料与未加工的半导体/光伏材料进行对调，由于加工完和未加工的舟托上，能够放置的花篮数量是相同的，那么在对调的过程中必然会存在有一个花篮需要临时置于舟托之外，否则在流程上就无法实现，因此需要有一个单个花篮的临时存储位，如果这个临时存储位设置在舟托上，那么舟托体积变大，但是承载能力并未增加，这样的设计会造成空间资源的浪费，且在热扩散工艺过程中始终有一个石英花篮内是空的，降低了生产效率。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种缓存平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的本实用新型所采用的技术方案是一种缓存平台，包括放置平台以及设于放置平台四周的支撑柱；

放置平台被配置为暂存石英花篮，支撑柱用于石英花篮的导向，确保石英花篮放置于放置平台内。

作为优选，支撑柱至少有四个，分布于放置平台的四周。

作为优选，支撑柱与放置平台贴紧，支撑柱上设有斜面，在石英花篮放置过程中，支撑柱上的斜面能够对石英花篮的底部起到导向作用，方便石英花篮放置于放置平台上。

作为优选，斜面朝向放置平台一侧。

作为优选，还包括固定台，放置平台与支撑柱设于固定台上。

作为优选，还包括检测装置，用于检测石英花篮是否摆放到位。

作为优选，检测装置包括激光发射器与激光接收片，激光发射器与激光接收片位于放置平台的两侧，激光发射器与激光接收片正对，激光发射器能够发出光信号，激光接收片能够接收光信号，当放置平台上未放置石英花篮时，激光接收片能够接收到激光发射器发出的光信号，当放置平台上放置有石英花篮时，激光发射器发出的光信号被石英花篮遮挡，激光接收片无法接收到光信号，以此区别放置平台上是否有石英花篮。

作为优选，还包括底部支撑架，底部支撑架设于固定台下方，用于抬高放置平台的位置，使其与流水线高度相适应。

作为优选，放置平台呈矩形，支撑柱设有六个，其中四个两两对称的设于放置平台的一组对边上，其余两个设于放置平台另一组对边的对角上。

综上所述，本实用新型的有益效果是：本实用新型的缓存平台解决了光伏、半导体材料在实际生产中，流水线上空余石英花篮资源浪费的问题，提高了加工效率；支撑柱用于石英花篮的导向，确保石英花篮放位精准，放置于放置平台内；检测装置能够区别放置平台上是否有石英花篮，方便装置的自动化控制；各个零件的可拆卸设计，方便装置的运输以及组装。

附图说明

图1是本装置的结构示意图；