[实用新型]一种硅片转运装置以及太阳能电池片印刷系统有效
申请号: | 201921728982.0 | 申请日: | 2019-10-15 |
公开(公告)号: | CN210379092U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 伏进文;袁中存 | 申请(专利权)人: | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/04;H01L31/0224;H01L21/677 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 224431 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 转运 装置 以及 太阳能电池 印刷 系统 | ||
1.一种硅片转运装置,其特征在于,包括:一对间隔设置的传输机构(1)、滑轨(2)以及与所述滑轨(2)滑动连接的转运机构(3),所述滑轨(2)经过一对所述传输机构(1)相邻的两端部之间,所述转运机构(3)包括:
基座(31),所述基座(31)具有多个连通至其上表面的安装孔(311),所述安装孔(311)沿竖直方向延伸;
真空吸排(32),所述真空吸排(32)的吸嘴(321)一一对应地容置于各个所述安装孔(311)内;以及
举升单元(33),所述举升单元(33)与所述真空吸排(32)相连接,以使所述真空吸排(32)的吸嘴(321)能伸出所述基座(31)的上表面。
2.根据权利要求1所述的硅片转运装置,其特征在于,所述安装孔(311)的数量为多个,多个所述安装孔(311)呈矩阵分布。
3.根据权利要求1所述的硅片转运装置,其特征在于,所述安装孔(311)贯穿所述基座(31),所述真空吸排(32)的吸嘴(321)自所述基座(31)下方穿入所述安装孔(311),所述举升单元(33)与所述基座(31)固连。
4.根据权利要求1所述的硅片转运装置,其特征在于,所述基座(31)承接硅片(100)的区域位于所述基座(31)的一端。
5.根据权利要求4所述的硅片转运装置,其特征在于,所述基座(31)的长度大于所述硅片转运装置所转运的硅片(100)的长度,所有所述安装孔(311)均位于所述基座(31)承接所述硅片(100)的区域。
6.根据权利要求1所述的硅片转运装置,其特征在于,所述转运机构(3)还包括连接于所述基座(31)下部的升降台(34)。
7.根据权利要求6所述的硅片转运装置,其特征在于,所述硅片转运装置具有第一工作状态,当所述硅片转运装置处于第一工作状态时,所述基座(31)的上表面以及所述吸嘴(321)的顶部均与所述传输机构(1)的工作面平齐。
8.根据权利要求6所述的硅片转运装置,其特征在于,所述硅片转运装置具有第二工作状态,当所述硅片转运装置处于第二工作状态时,所述基座(31)的上表面高于所述传输机构(1)的工作面,所述吸嘴(321)的顶部高于所述基座(31)的上表面。
9.一种太阳能电池片印刷系统,其特征在于,包括如权利要求1-8任意一项所述的硅片转运装置,以及位于所述滑轨(2)背离所述硅片转运装置的一端的印刷平台。
10.根据权利要求9所述的太阳能电池片印刷系统,其特征在于,所述太阳能电池片印刷系统还包括用于对位于一对所述传输机构(1)上的硅片(100)的位置纠偏的纠偏机构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的