[实用新型]一种硅片弯曲程度测量装置

说明书

本申请公开了一种硅片弯曲程度测量装置，包括：底座；其中，底座的上表面上设置有用于固定两个贴合在一起的待测硅片的卡槽；设置在底座上的固定连杆；其中，固定连杆包括与卡槽相垂直的横杆、与横杆相连且固定在底座上的竖杆；可移动地安装在横杆上、用于测量固定在卡槽中的两个待测硅片形成的弯曲开口的尺寸的测量标尺。本申请公开的上述技术方案，通过测量标尺测量固定在卡槽中的两个待测硅片形成的弯曲开口的尺寸，以通过弯曲开口的尺寸得到待测硅片的弯曲程度，从而便于根据所掌握的弯曲程度对薄膜沉积工序和/或后续的自动化工序进行调整，进而便于提高最终所制备出的太阳能电池的质量。

技术领域

本申请涉及太阳能电池制备技术领域，更具体地说，涉及一种硅片弯曲程度测量装置。

背景技术

在硅片表面沉积薄膜是太阳能电池制备过程中不可缺少的工艺之一，尤其是目前的TOPCON太阳能电池技术，其在制备过程中加入了多晶硅薄膜沉积。

在硅片表面沉积薄膜时，硅片会因薄膜应力的作用而发生弯曲，并且沉积的薄膜越厚，硅片的弯曲程度就越大，而硅片的弯曲会给后续的退火、PN结制备等自动化工序带来很大的影响，其中，硅片的弯曲程度越大，所造成的影响越大。具体而言，硅片的弯曲容易造成硅片在后续自动化工序中出现划伤、碎裂等情况，从而降低最终所制备出的太阳能电池的良品率。但是，目前尚无一种能够对硅片的弯曲程度进行测量的装置，因此，则无法较好地掌握硅片的弯曲程度，相应地，则不便于根据硅片的弯曲程度对薄膜沉积工序和/或后续自动化工序进行调整，以提高最终所制备出的太阳能电池的质量。

综上所述，如何对硅片的弯曲程度进行测试，以较好地掌握硅片的弯曲程度，从而便于提高最终所制备出的太阳能电池的质量，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本申请的目的是提供一种硅片弯曲程度测量装置，用于对硅片的弯曲程度进行测试，以较好地掌握硅片的弯曲程度，从而便于提高最终所制备出的太阳能电池的质量。

为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种硅片弯曲程度测量装置，包括：

底座；其中，所述底座的上表面上设置有用于固定两个贴合在一起的待测硅片的卡槽；

设置在所述底座上的固定连杆；其中，所述固定连杆包括与所述卡槽相垂直的横杆、与所述横杆相连且固定在所述底座上的竖杆；

可移动地安装在所述横杆上、用于测量固定在所述卡槽中的两个所述待测硅片形成的弯曲开口的尺寸的测量标尺。

优选的，还包括：

可移动地设置在所述底座的上表面、用于在所述测量标尺测量所述弯曲开口的尺寸时贴合在所述待测硅片的表面，以对所述待测硅片进行固定的固定件。

优选的，所述固定件的长度大于等于所述卡槽的长度。

优选的，所述竖杆为可伸缩的连杆。

优选的，所述底座上设置有与所述竖杆相匹配的凹槽，所述竖杆通过所述凹槽固定在所述底座上。

优选的，所述底座上设置有多个所述卡槽。

优选的，所述卡槽的深度为1-5cm。

优选的，所述测量标尺套设在所述横杆上。

优选的，所述测量标尺为游标卡尺。

本申请提供了一种硅片弯曲程度测量装置，包括：底座；其中，底座的上表面上设置有用于固定两个贴合在一起的待测硅片的卡槽；设置在底座上的固定连杆；其中，固定连杆包括与卡槽相垂直的横杆、与横杆相连且固定在底座上的竖杆；可移动地安装在横杆上、用于测量固定在卡槽中的两个待测硅片形成的弯曲开口的尺寸的测量标尺。