[实用新型]一种半导体基板运输转向装置

权利要求书

1.一种半导体基板运输转向装置，包括底板（1）、运输传送带（3）和转向传送带（4），其特征在于，所述的底板（1）上设有第一支架（2）和第二支架（5），第一支架（2）上安装运输传送带（3），第二支架（5）上设有转向传送带（4），第二支架（5）和转向传送带（4）设有三组，底板（1）上设有电机（8），电机（8）输出轴和转轴（7）连接，转轴（7）顶端设有转向圆盘（6），转向圆盘（6）下方设有四组升降杆（9），运输传送带（3）的一端设置转向圆盘（6）上方，转向传送带（4）的一端设置转向圆盘（6）下方，转向圆盘（6）上均匀设有通气孔（14），底板（1）上设有抽气机（15）。

2.根据权利要求1所述的半导体基板运输转向装置，其特征在于，所述第一支架（2）顶端和连接杆（11）一端铰连，连接杆（11）另一端固定设有滑动板（10），滑动板（10）下方和倾斜伸缩杆（12）一端连接，倾斜伸缩杆（12）另一端和第一支架（2）连接。

3.根据权利要求1所述的半导体基板运输转向装置，其特征在于，所述转向圆盘（6）上设有四组阻拦板（13）。

4.根据权利要求2所述的半导体基板运输转向装置，其特征在于，所述滑动板（10）为“凵”字形，滑动板（10）上设有保护垫（18）。

5.根据权利要求1-4任一所述的半导体基板运输转向装置，其特征在于，所述抽气机（15）上设有吸气管（16），吸气管（16）出口端设有吸气斗（17），吸气斗（17）设置在转向圆盘（6）下方。