[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构

说明书

本实用新型公开了一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其设置有安装架和转台架，所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上，且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，所述工件安装结构与所述转台架联动，从而在所述转台架转动时随之转动。本实用新型中的转台架可绕水平轴转动地设置在安装架上，可以适用于卧式镀膜机，并且进一步通过将其设置自转座组件来安装工件，既可以实现公转、自转，也可以较好的安装工件，为卧式真空镀膜机的实现提供结构基础，实用性强。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜机技术领域，具体涉及一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构。

背景技术

溅射式真空镀膜机是常见的真空镀膜设备之一，传统的溅射式真空镀膜机均是立式结构，在实际操作过程中通常需要在镀膜机的一侧搭建高台，以便于在真空镀膜室内的转台架上移出料后工人装卸工件。工人高台操作存在安全隐患，不利于安全生产的进行。并且立式镀膜机本身高度较高，且在镀膜机上方还需预留转台架上移的空间，对生产车间的高度要求较高，间接提高生产成本。

将镀膜机改为卧式结构即可解决上述问题，但是工件在镀膜过程中需要进行公转和自转，传统的立式镀膜机中的转台架无法直接横置应用到卧式结构中，因此需要一种适用于卧式真空镀膜机的工件安装机构。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其设置有安装架和转台架，所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上，且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，所述工件安装结构与所述转台架联动，从而在所述转台架转动时随之转动。

优选的，所述转台架设置有两个转盘组件和若干连杆，两个所述转盘组件之间对称设置于所述连杆的两端，从而于两个所述转盘组件之间形成工件装载空间，所述转盘组件包括固定齿圈、公转齿圈、传动组件和自转座组件，所述固定齿圈和公转齿圈的内圈均设置有轮齿，所述固定齿圈固定安装于所述安装架上，所述自转座组件设置有多个并同圆周地分布于所述公转齿圈上，且所述自转座组件设置有啮合所述固定齿圈的传动齿轮，所述公转齿圈通过多个所述传动齿轮与所述固定齿圈的配合而配装于所述固定齿圈上，所述传动组件设置有啮合所述公转齿圈的驱动齿轮，通过两个所述转盘组件上的所述自转座组件形成所述工件安装结构。

优选的，所述固定齿圈于所述公转齿圈的外周侧设置有若干承重定滑轮。

优选的，所述承重定滑轮分布于所述公转齿圈的下半圆周区域。

优选的，所述安装架包括一水平设置的底板和竖直设置于所述底板的两端的侧板，所述转台架设置于两侧板之间。

优选的，所述公转齿圈的中心设置有靶材，所述靶材的两端连接所述侧板。

优选的，所述侧板上设置有靶头组件，所述靶材的两端连接靶头组件。

优选的，所述靶材设置有三个，且三个所述靶材之间联动设置。

优选的，所述工件安装结构设置有装夹套筒和与所述装夹套筒对应设置有夹持套筒，所述夹持套筒设置有一个可拆卸地半圆柱侧壁。

优选的，所述半圆柱侧壁采用聚四氟乙烯材料制成。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型中的转台架可绕水平轴转动地设置在安装架上，可以适用于卧式镀膜机，并且进一步通过将其设置自转座组件来安装工件，既可以实现公转、自转，也可以较好的安装工件，为卧式真空镀膜机的实现提供结构基础，实用性强。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：

图1是转台架的一种结构示意图；

图2是安装架与转台架的一种装配示意图；