[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构

权利要求书

1.一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，设置有安装架和转台架，所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上，且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，所述工件安装结构与所述转台架联动，从而在所述转台架转动时随之转动，所述转台架设置有两个转盘组件和若干连杆，两个所述转盘组件之间对称设置于所述连杆的两端，从而于两个所述转盘组件之间形成工件装载空间，所述转盘组件包括固定齿圈、公转齿圈、传动组件和自转座组件，所述固定齿圈和公转齿圈的内圈均设置有轮齿，所述固定齿圈固定安装于所述安装架上，所述自转座组件设置有多个并同圆周地分布于所述公转齿圈上，且所述自转座组件设置有啮合所述固定齿圈的传动齿轮，所述公转齿圈通过多个所述传动齿轮与所述固定齿圈的配合而配装于所述固定齿圈上，所述传动组件设置有啮合所述公转齿圈的驱动齿轮，通过两个所述转盘组件上的所述自转座组件形成所述工件安装结构，所述安装架包括一水平设置的底板和竖直设置于所述底板的两端的侧板，所述转台架设置于两侧板之间。

2.如权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述固定齿圈于所述公转齿圈的外周侧设置有若干承重定滑轮。

3.如权利要求2所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述承重定滑轮分布于所述公转齿圈的下半圆周区域。

4.如权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述公转齿圈的中心设置有靶材，所述靶材的两端连接所述侧板。

5.如权利要求4所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述侧板上设置有靶头组件，所述靶材的两端连接靶头组件。

6.如权利要求4所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述靶材设置有三个，且三个所述靶材之间联动设置。

7.如权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述工件安装结构设置有装夹套筒和与所述装夹套筒对应设置有夹持套筒，所述夹持套筒设置有一个可拆卸地半圆柱侧壁。

8.如权利要求7所述的一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其特征在于，所述半圆柱侧壁采用聚四氟乙烯材料制成。