[实用新型]可扩展的量子芯片封装盒结构有效
申请号: | 201921167618.1 | 申请日: | 2019-07-23 |
公开(公告)号: | CN210200684U | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 梁福田;龚明;邓辉;吴玉林;彭承志;朱晓波;潘建伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/56 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 马莉 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扩展 量子 芯片 封装 结构 | ||
1.一种可扩展的量子芯片封装盒结构,其特征在于,包括:
底座(8),其上设置有凸台;
PCB板(6),位于所述底座(8)的凸台之上,用于放置量子芯片(5);
上盖(1),对应所述底座(8)的凸台位置设置有凹槽,该凹槽的深度满足在所述底座(8)上放置PCB板(6)之后与所述上盖(1)紧密贴合,该上盖(1)与底座(8)相对一面的尺寸大小相匹配使得二者贴合后边缘对齐;以及
二维孔阵列(2),设置于底座(8)和上盖(1)中的至少一个之上,垂直于PCB板(6)所在平面,并与PCB板(6)的信号层电性连接,用于安装信号连接器接头。
2.根据权利要求1所述的量子芯片封装盒结构,其特征在于,所述底座(8)上具有第二开孔,该第二开孔的位置与待放置的量子芯片(5)对齐,对应在第二开孔的位置还设置有第二密封盖(7)。
3.根据权利要求2所述的量子芯片封装盒结构,其特征在于,所述第二开孔的尺寸满足:能够容纳待放置的量子芯片(5)通过。
4.根据权利要求1所述的量子芯片封装盒结构,其特征在于,所述上盖(1)上具有第一开窗,该第一开窗的位置与待放置的量子芯片(5)对齐,用于观察封装盒内部情况,对应在第一开窗的位置还设置有第一密封盖(4)。
5.根据权利要求2所述的量子芯片封装盒结构,其特征在于,所述上盖(1)上具有第一开窗,该第一开窗的位置与待放置的量子芯片(5)对齐,用于观察封装盒内部情况,对应在第一开窗的位置还设置有第一密封盖(4)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的量子芯片封装盒结构,其特征在于,所述PCB板(6)之上具有开孔,量子芯片(5)放置于该开孔之中。
7.根据权利要求6所述的量子芯片封装盒结构,其特征在于,所述PCB板(6)上的开孔的形状与量子芯片(5)的形状匹配。
8.根据权利要求6所述的量子芯片封装盒结构,其特征在于,所述PCB板(6)的正面设置有信号线焊点与接地焊点,用于量子芯片(5)与PCB板(6)之间的引线。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的量子芯片封装盒结构,其特征在于,所述PCB板(6)之上具有开孔,该开孔的尺寸略小于量子芯片(5)的尺寸,封装时量子芯片(5)位于该开孔之下,暴露出该量子芯片(5)的内部正面部分,在所述PCB板(6)的背面、与量子芯片(5)非暴露的边缘正面部分接触的位置设置有接地焊点,在所述PCB板(6)的正面设置有信号线焊点与接地焊点。
10.根据权利要求1所述的量子芯片封装盒结构,其特征在于,所述底座(8)和上盖(1)上对应设置有用于固定PCB板(6)的安装孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造