[实用新型]一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟有效

专利信息
申请号: 201921140925.0 申请日: 2019-07-19
公开(公告)号: CN210420155U 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 赵朋松;殷科平;殷文杰;李吉;胡番;夏利鹏;顾生刚;刘海金;赵本定;杨二存;赵小平 申请(专利权)人: 天津爱旭太阳能科技有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;H01L21/673
代理公司: 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人: 高文龙
地址: 300400 天津市北辰区天津北辰*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 兼容 不同 尺寸 硅片 pecvd 石墨
【说明书】:

实用新型公开了一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟,所述石墨舟开设有用于安装卡点的卡点安装孔,所述的卡点安装孔为N组,N为大于等于2的自然数,多组卡点安装孔使得所述石墨舟能够在不同的位置安装卡点,从而匹配不同尺寸的硅片。该石墨舟能兼容不同尺寸硅片,降低成本。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池工装夹具,具体是指一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟。

背景技术

光伏行业在很长的一段时间内,硅片尺寸是统一的125mm和156mm,在竞争不激烈的时候,硅片企业都严格执行这一标准,而这两个尺寸标准都是为单晶硅片量身定制的,对单晶非常有利。

近些年随着单多晶竞争的加剧,以及领跑者项目对组件功率的要求,各家光伏企业对硅片尺寸进行了改良,使得硅片尺寸从之前的156mm变为目前的156.75、157.25、157.4、157.75、158.75、166mm等。

随着硅片尺寸的不断变大,作为电池生产所需要的工装夹具PECVD石墨舟,由于不兼容不同尺寸硅片,需要不断更换工装夹具,增加了成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟,该石墨舟能兼容不同尺寸硅片,降低成本。

本实用新型的这一目的通过如下的技术方案来实现的:一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟,所述石墨舟开设有用于安装卡点的卡点安装孔,其特征在于:所述的卡点安装孔为N组,N为大于等于2的自然数,多组卡点安装孔使得所述石墨舟能够在不同的位置安装卡点,从而匹配不同尺寸的硅片。

本实用新型中,所述N的数量为2~20,优选为3~8。

本实用新型中,所述硅片的尺寸为156.75mm-166mm。

本实用新型中,所述的卡点安装孔为三组,分别为第一组卡点安装孔、第二组卡点安装孔和第三组卡点安装孔,三组卡点安装孔共包括第一卡点安装孔、第二卡点安装孔、第三卡点安装孔、第四卡点安装孔、第五卡点安装孔和第六卡点安装孔六个卡点安装孔;其中,第一组卡点安装孔包括第一卡点安装孔、第三卡点安装孔和第五卡点安装孔三个卡点安装孔,所匹配的硅片的尺寸为158.75mm;第二组卡点安装孔包括第一卡点安装孔、第四卡点安装孔和第五卡点安装孔三个卡点安装孔,所匹配的硅片的尺寸为161mm;第三组卡点安装孔包括第一卡点安装孔、第二卡点安装孔和第六卡点安装孔三个卡点安装孔,所匹配的硅片的尺寸为166mm。

本实用新型本实用新型通过在石墨舟上设计多组石墨舟卡点安装孔,在不同的位置安装卡点可以匹配不同尺寸的硅片,从而能够兼容大小尺寸不同的硅片,可有效降低由于生产不同尺寸硅片带来的石墨舟设备投资。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

图1是本实用新型PECVD石墨舟的结构示意图;

图2是本实用新型PECVD石墨舟的局部结构示意图。

附图标记说明

1、第一卡点安装孔;

2、第二卡点安装孔;

3、第三卡点安装孔;

4、第四卡点安装孔;

5、第五卡点安装孔;

6、第六卡点安装孔。

具体实施方式

如图1、图2所示的一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟,石墨舟开设有用于安装卡点的卡点安装孔,卡点安装孔为三组,三组卡点安装孔使得石墨舟能够在不同的位置安装卡点,从而匹配不同尺寸的硅片。

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