[实用新型]一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟有效
申请号: | 201921140925.0 | 申请日: | 2019-07-19 |
公开(公告)号: | CN210420155U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 赵朋松;殷科平;殷文杰;李吉;胡番;夏利鹏;顾生刚;刘海金;赵本定;杨二存;赵小平 | 申请(专利权)人: | 天津爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L21/673 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 高文龙 |
地址: | 300400 天津市北辰区天津北辰*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 兼容 不同 尺寸 硅片 pecvd 石墨 | ||
本实用新型公开了一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟,所述石墨舟开设有用于安装卡点的卡点安装孔,所述的卡点安装孔为N组,N为大于等于2的自然数,多组卡点安装孔使得所述石墨舟能够在不同的位置安装卡点,从而匹配不同尺寸的硅片。该石墨舟能兼容不同尺寸硅片,降低成本。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池工装夹具,具体是指一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟。
背景技术
光伏行业在很长的一段时间内,硅片尺寸是统一的125mm和156mm,在竞争不激烈的时候,硅片企业都严格执行这一标准,而这两个尺寸标准都是为单晶硅片量身定制的,对单晶非常有利。
近些年随着单多晶竞争的加剧,以及领跑者项目对组件功率的要求,各家光伏企业对硅片尺寸进行了改良,使得硅片尺寸从之前的156mm变为目前的156.75、157.25、157.4、157.75、158.75、166mm等。
随着硅片尺寸的不断变大,作为电池生产所需要的工装夹具PECVD石墨舟,由于不兼容不同尺寸硅片,需要不断更换工装夹具,增加了成本。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟,该石墨舟能兼容不同尺寸硅片,降低成本。
本实用新型的这一目的通过如下的技术方案来实现的:一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟,所述石墨舟开设有用于安装卡点的卡点安装孔,其特征在于:所述的卡点安装孔为N组,N为大于等于2的自然数,多组卡点安装孔使得所述石墨舟能够在不同的位置安装卡点,从而匹配不同尺寸的硅片。
本实用新型中,所述N的数量为2~20,优选为3~8。
本实用新型中,所述硅片的尺寸为156.75mm-166mm。
本实用新型中,所述的卡点安装孔为三组,分别为第一组卡点安装孔、第二组卡点安装孔和第三组卡点安装孔,三组卡点安装孔共包括第一卡点安装孔、第二卡点安装孔、第三卡点安装孔、第四卡点安装孔、第五卡点安装孔和第六卡点安装孔六个卡点安装孔;其中,第一组卡点安装孔包括第一卡点安装孔、第三卡点安装孔和第五卡点安装孔三个卡点安装孔,所匹配的硅片的尺寸为158.75mm;第二组卡点安装孔包括第一卡点安装孔、第四卡点安装孔和第五卡点安装孔三个卡点安装孔,所匹配的硅片的尺寸为161mm;第三组卡点安装孔包括第一卡点安装孔、第二卡点安装孔和第六卡点安装孔三个卡点安装孔,所匹配的硅片的尺寸为166mm。
本实用新型本实用新型通过在石墨舟上设计多组石墨舟卡点安装孔,在不同的位置安装卡点可以匹配不同尺寸的硅片,从而能够兼容大小尺寸不同的硅片,可有效降低由于生产不同尺寸硅片带来的石墨舟设备投资。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。
图1是本实用新型PECVD石墨舟的结构示意图;
图2是本实用新型PECVD石墨舟的局部结构示意图。
附图标记说明
1、第一卡点安装孔;
2、第二卡点安装孔;
3、第三卡点安装孔;
4、第四卡点安装孔;
5、第五卡点安装孔;
6、第六卡点安装孔。
具体实施方式
如图1、图2所示的一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟,石墨舟开设有用于安装卡点的卡点安装孔,卡点安装孔为三组,三组卡点安装孔使得石墨舟能够在不同的位置安装卡点,从而匹配不同尺寸的硅片。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的