[实用新型]一种多晶铸锭炉加热器有效
申请号: | 201921124363.0 | 申请日: | 2019-07-17 |
公开(公告)号: | CN210458426U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 欧子杨;金浩;张涛;陈骏;肖贵云;白枭龙;汪沛渊;晏文勇 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 孙晓红 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 加热器 | ||
1.一种多晶铸锭炉加热器,其特征在于,包括用以对硅料加热的顶部加热器(1)和侧部加热器(2),所述顶部加热器(1)和所述侧部加热器(2)配合形成容置坩埚及硅料的空间;
还包括用以驱动所述顶部加热器(1)运动的第一驱动机构和用以驱动所述侧部加热器(2)运动的第二驱动机构,所述第一驱动机构和所述第二驱动机构的运动相互独立。
2.根据权利要求1所述的多晶铸锭炉加热器,其特征在于,所述第一驱动机构用以驱动所述顶部加热器(1)沿竖直方向上下运动。
3.根据权利要求2所述的多晶铸锭炉加热器,其特征在于,所述第二驱动机构用以驱动所述侧部加热器(2)沿水平方向左右运动。
4.根据权利要求3所述的多晶铸锭炉加热器,其特征在于,所述顶部加热器(1)设有第一电极,所述第一电极通过第一电极连接杆(5)连接外电源;
所述侧部加热器(2)设有第二电极,所述第二电极通过第二电极连接杆(6)连接外电源;
所述顶部加热器(1)和所述侧部加热器(2)柔性串接。
5.根据权利要求4所述的多晶铸锭炉加热器,其特征在于,所述第一驱动机构包括第一驱动电机(3)和连接所述第一驱动电机(3)的第一丝杠(7);所述第一驱动电机(3)竖直固定于炉壳,所述第一丝杠(7)竖直连接所述第一驱动电机(3)的输出轴和所述顶部加热器(1)。
6.根据权利要求5所述的多晶铸锭炉加热器,其特征在于,所述第二驱动机构包括第二驱动电机(4)和连接所述第二驱动电机(4)的第二丝杠(8);所述第二驱动电机(4)水平固定于炉壳,所述第二丝杠(8)水平连接所述第二驱动电机(4)的输出轴和所述侧部加热器(2)。
7.根据权利要求6所述的多晶铸锭炉加热器,其特征在于,所述第一丝杠(7)和所述第二丝杠(8)均为滚珠丝杠。
8.根据权利要求7所述的多晶铸锭炉加热器,其特征在于,所述第一丝杠(7)连接所述第一电极连接杆(5),所述第二丝杠(8)连接所述第二电极连接杆(6)。
9.根据权利要求7所述的多晶铸锭炉加热器,其特征在于,所述第一丝杠(7)连接所述顶部加热器(1);
还包括用以吊装所述侧部加热器(2)的吊装板,所述第二丝杠(8)连接所述吊装板。
10.根据权利要求1至9任一项所述的多晶铸锭炉加热器,其特征在于,还包括用以分别控制所述第一驱动机构和所述第二驱动机构运动的运动控制装置。
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