[实用新型]一种可自动收集式硅片导片装置有效

专利信息
申请号: 201921072964.1 申请日: 2019-07-10
公开(公告)号: CN210110734U 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 向永富 申请(专利权)人: 苏州璞智自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 收集 硅片 装置
【说明书】:

实用新型涉及一种可自动收集式硅片导片装置,包括上板、下板、圆柱、运动件、载具以及传送组件;所述上板通过圆柱与下板连接,所述下板上设置有气缸和定位框,所述定位框上设置有感应器,所述定位框与运动件位置相对应,所述运动件通过气缸的活塞杆与下板连接,所述载具通过运动件与气缸连接,所述上板上设置有通槽和滑槽,所述传送组件与通槽位置相对应,所述传送组件上设置有竖槽,所述载具上设置有横槽,所述竖槽和横槽位置相对应。本实用新型提供一种可自动收集式硅片导片装置,提高了工作效率,降低了装置成本,节约了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片输送领域,具体涉及一种可自动收集式硅片导片装置。

背景技术

硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力,硅片是电子行业常用的元件,在生产过程中硅片需要多次搬运。

硅片被搬运到达指定位置的过程中,经过导向装置导向以后需要专门的插片机构将硅片插入载具内,导向装置不能直接将硅片放入载具内,装置成本较高,工作效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的是:提供一种可自动收集式硅片导片装置,解决以上问题。

为了实现上述目的,本实用新型提供如下的技术方案:

一种可自动收集式硅片导片装置,包括上板、下板、圆柱、运动件、载具以及传送组件;所述上板通过圆柱与下板连接,所述下板上设置有气缸和定位框,所述定位框上设置有感应器,所述定位框与运动件位置相对应,所述运动件通过气缸的活塞杆与下板连接,所述载具通过运动件与气缸连接,所述上板上设置有通槽和滑槽,所述传送组件与通槽位置相对应,所述传送组件上设置有竖槽,所述载具上设置有横槽,所述竖槽和横槽位置相对应。

进一步的,所述感应器与运动件位置相对应,所述载具上设置有卡槽,所述运动件上设置有卡块,所述传送组件上设置有传送带,所述滑槽与通槽位置相对应,所述竖槽和横槽相互垂直。

进一步的,所述感应器有多个,所述卡槽和卡块尺寸相配合,所述传送带关于通槽位置相对应,所述横槽与上板宽度方向平行,所述滑槽位于上板上远离传送组件处,所述载具与通槽位置相对应,所述卡槽位于载具远离横槽的面上。

进一步的,所述感应器的感应面朝向运动件,所述卡块通过卡槽与载具连接,所述卡槽贯通载具靠近下板的面,所述卡槽与上板长度方向平行,所述载具与通槽尺寸相配合,所述传送组件上设置有电机,所述电机具体为步进电机。

本实用新型的有益效果为:提供一种可自动收集式硅片导片装置,通过上板、下板、圆柱、运动件、载具以及传送组件相互配合使用,实现导向装置直接将硅片插入载具内的效果,提高了工作效率,降低了装置成本,节约了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型一种可自动收集式硅片导片装置的整体结构轴测图。

图2为本实用新型一种可自动收集式硅片导片装置的另一整体结构轴测图。

图3为本实用新型一种可自动收集式硅片导片装置的又一整体结构轴测图。

图中:1、上板;2、下板;3、圆柱;4、定位框;5、感应器;6、气缸;7、运动件;71、卡块;8、载具;81、卡槽;82、横槽;9、通槽;10、滑槽;11、传送组件;111、传送带;112、竖槽;113、电机。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型作进一步的详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

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