[实用新型]一种可自动收集式硅片导片装置

权利要求书

1.一种可自动收集式硅片导片装置，其特征在于：包括上板(1)、下板(2)、圆柱(3)、运动件(7)、载具(8)以及传送组件(11)；所述上板(1)通过圆柱(3)与下板(2)连接，所述下板(2)上设置有气缸(6)和定位框(4)，所述定位框(4)上设置有感应器(5)，所述定位框(4)与运动件(7)位置相对应，所述运动件(7)通过气缸(6)的活塞杆与下板(2)连接，所述载具(8)通过运动件(7)与气缸(6)连接，所述上板(1)上设置有通槽(9)和滑槽(10)，所述传送组件(11)与通槽(9)位置相对应，所述传送组件(11)上设置有竖槽(112)，所述载具(8)上设置有横槽(82)，所述竖槽(112)和横槽(82)位置相对应。

2.根据权利要求1所述的一种可自动收集式硅片导片装置，其特征在于：所述感应器(5)与运动件(7)位置相对应，所述载具(8)上设置有卡槽(81)，所述运动件(7)上设置有卡块(71)，所述传送组件(11)上设置有传送带(111)，所述滑槽(10)与通槽(9)位置相对应，所述竖槽(112)和横槽(82)相互垂直。

3.根据权利要求2所述的一种可自动收集式硅片导片装置，其特征在于：所述感应器(5)有多个，所述卡槽(81)和卡块(71)尺寸相配合，所述传送带(111)关于通槽(9)位置相对应，所述横槽(82)与上板(1)宽度方向平行，所述滑槽(10)位于上板(1)上远离传送组件(11)处，所述载具(8)与通槽(9)位置相对应，所述卡槽(81)位于载具(8)远离横槽(82)的面上。

4.根据权利要求3所述的一种可自动收集式硅片导片装置，其特征在于：所述感应器(5)的感应面朝向运动件(7)，所述卡块(71)通过卡槽(81)与载具(8)连接，所述卡槽(81)贯通载具(8)靠近下板(2)的面，所述卡槽(81)与上板(1)长度方向平行，所述载具(8)与通槽(9)尺寸相配合，所述传送组件(11)上设置有电机(113)，所述电机(113)具体为步进电机。