[实用新型]一种金刚石单晶生产用籽晶托盘

说明书

本实用新型属于籽晶托盘领域，尤其是一种金刚石单晶生产用籽晶托盘，针对现有的不同实验条件生产单晶时，可能会造成籽晶托盘滑倒翻转，如在倾斜的平台上，基座将不能够很好的将籽晶托盘进行放置，可能会影响金刚石单晶生产的问题，现提出如下方案，其包括设备箱，所述设备箱内设有基座，基座的顶侧设有籽晶托盘，籽晶托盘上设有梯形凹槽，所述基座上开设有放置腔，放置腔的底侧内壁上固定安装有滑动杆，本实用新型结构简单，螺纹杆移动从而带动滑动块移动，滑动块移动在滑杆和滑槽的作用下从而带动挤压块挤压挤压板，挤压板移动从而带动夹块夹紧籽晶托盘，有效解决了籽晶托盘不能够稳固放置的问题，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及籽晶托盘技术领域，尤其涉及一种金刚石单晶生产用籽晶托盘。

背景技术

微波等离子体化学气相沉积法生长金刚石单晶时，籽晶放置在籽晶托盘的凹坑内，目前所用的籽晶托盘是一种带有阶梯状凹坑的圆柱状籽晶托盘。

公开号为CN204281889U公开了一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘，用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体内，置于谐振腔腔体内的基台上，托盘的中心端面开设有凹坑，所述凹坑出口端与托盘端面所在水平面是由斜面过渡连接，所述凹坑大于等于1个，本实用新型是将托盘中心设计成一种凹坑，在金刚石生长过程中能够降低电磁场的不连续性，抑制籽晶边缘处的过快生长，提高金刚石单晶的品质，但用于单晶生产用的籽晶托盘是直接放置在基座上的，但是对于不同实验条件生产单晶时，可能会造成籽晶托盘滑倒翻转，如在倾斜的平台上，基座将不能够很好的将籽晶托盘进行放置，可能会影响金刚石单晶的生产，因此需要一种新型的金刚石单晶生产用籽晶托盘来满足人们的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在不同实验条件生产单晶时，可能会造成籽晶托盘滑倒翻转，如在倾斜的平台上，基座将不能够很好的将籽晶托盘进行放置，可能会影响金刚石单晶生产的缺点，而提出的一种金刚石单晶生产用籽晶托盘。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种金刚石单晶生产用籽晶托盘，包括设备箱，所述设备箱内设有基座，基座的顶侧设有籽晶托盘，籽晶托盘上设有梯形凹槽，所述基座上开设有放置腔，放置腔的底侧内壁上固定安装有滑动杆，滑动杆上滑动套接有滑动块，滑动块上转动安装有两个转杆，转杆上螺纹状开设有滑槽，放置腔的一侧内壁上固定安装有滑杆，滑杆的一端滑动安装在滑槽内，所述转杆的顶端固定安装有挤压块，放置腔内活动安装有挤压板，挤压板的一侧与挤压块的一侧相接触，挤压板的顶侧固定安装有移动杆。

优选的，所述放置腔的一侧内壁上开设有螺纹孔，螺纹孔内螺纹安装有螺纹杆，螺纹杆的两端均延伸至螺纹孔外，螺纹杆的一端转动安装有移块，移块的一侧转动安装有连接杆，连接杆的一端转动安装在滑动块的一侧上,便于带动滑动块在滑动杆上滑动。

优选的，所述放置腔底侧内壁上开设有移槽，移块的底端滑动安装在移槽内。

优选的，所述放置腔的顶侧内壁上开设有移动孔，移动杆的顶端贯穿移动孔，移动杆的一侧固定安装有夹块，夹块与籽晶托盘相适配，便于稳固夹紧籽晶托盘。

优选的，所述放置腔的两侧内壁上固定安装有同一个限位杆，移动杆的一侧开设有限位孔，限位杆的一端贯穿限位孔，限位杆上套接有弹簧，弹簧的两端分别固定安装在两个移动杆相互靠近的一侧上移动杆移动后便于复位。

本实用新型中，所述一种金刚石单晶生产用籽晶托盘，由于设置了滑动块、转杆、滑杆、滑槽、挤压块、挤压板、移动杆、夹块、螺纹孔、螺纹杆、移块、连接杆，实现了螺纹杆转动在螺纹孔的作用下推动移块在移槽内移动，移块移动带动连接杆移动，连接杆移动带动滑动块在滑动杆上滑动，滑动块移动带动转杆移动，转杆移动在滑槽和滑杆的作用下进行自转，转杆转动带动挤压块转动，挤压块转动挤压挤压板，挤压板受到挤压带动移动杆在限位杆上移动，移动杆移动将挤压弹簧，挤压杆移动带动夹块移动，夹块移动将籽晶托盘进行夹紧；