[实用新型]一种用于芯片封装的无尘车间

说明书

本实用新型公开了一种用于芯片封装的无尘车间，涉及无尘净化设备技术领域，解决了现有无尘车间中的通风过滤层清洁不方便的问题，本实用新型包括无尘车间的墙体，墙体上嵌设有方形的进风管，进风管中设置有过滤层，过滤层两侧均设置有密封百叶窗，两个密封百叶窗以及过滤层将进风管内部从左至右依次分别回风室、除尘室以及进风室，回风室左侧为无尘车间内部，进风管顶部设置有连通回风室与进风室的弯管，进风管底部设置有与除尘室对应的排尘管，进风管内设置有用于弯管两端管口以及排尘管管口启闭的开关机构。

技术领域

本实用新型涉及无尘净化设备技术领域，更具体的是涉及一种用于芯片封装的无尘车间。

背景技术

芯片的生产过程中对环境的要求极高，特别是环境的清洁度，所以目前芯片的生产主要是在无尘车间中进行的。人员在进入无尘车间时，必须先经过风淋室除尘，而后身着无尘服在无尘车间中活动。并且无尘车间是一个相对封闭的空间，无尘车间中的空气不会直接与外界进行对流交换，空气的交换都是通过气体循环净化系统进行的。利用风机将无尘车间中的空气通过管道抽出至净化系统，空气经过净化系统的净化后再通过管道重新通入至无尘车间中，净化系统主要是对空气中的灰尘、有害细菌等进行净化。

现有的无尘车间在空气通入口处通常会加装过滤层，用来过滤掉净化系统未能完全消除的灰尘等杂质；同时在长时间使用过程中，通风管道中也会残留一些灰尘，过滤层可以一并将这些杂质进行二次过滤，提高通入无尘车间中的空气的清洁度。

但是长时间使用会导致灰尘等杂质在过滤层上积聚，使过滤层的通风量大大减小，进而会减小无尘车间的空气通入量，使空气循环中的通入流量小于排出流量，进而会影响无尘车间中的空气量以及人员的正常呼吸。同时，过滤层通风量的减小也会增大过滤层两侧空气的压力差，进而积聚在过滤层上的灰尘可能在压力的作用下穿过过滤层进入无尘车间中，导致无尘车间的污染。而现有过滤层设置在通风结构内部，难以进行清洁。

所以，怎样简单、有效的对过滤层进行清灰是保证无尘车间正常使用的根本途径。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有无尘车间中的通风过滤层清洁不方便的问题，本实用新型提供一种用于芯片封装的无尘车间。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种用于芯片封装的无尘车间，包括无尘车间的墙体，墙体上嵌设有方形的进风管，进风管中设置有过滤层，过滤层两侧均设置有密封百叶窗，两个密封百叶窗以及过滤层将进风管内部从左至右依次分别回风室、除尘室以及进风室，回风室左侧为无尘车间内部，进风管顶部设置有连通回风室与进风室的弯管，进风管底部设置有与除尘室对应的排尘管，进风管内设置有用于弯管两端管口以及排尘管管口启闭的开关机构。

进一步地，回风室内部空间的体积大于除尘室内部空间的体积。

进一步地，开关机构包括分设置在进风管顶部与底部的可水平移动的顶板与底板，顶板与底板分别与过滤层顶部与底部紧密接触，顶板与底板通过两侧竖直的连杆连接为一体，顶板上开设有可与弯管两端管口对应的两个通风口、底板上开设有可与排尘管管口对应的排尘口。

进一步地，进风管顶部与底部均设置有分别与顶板与底板配合的滑槽机构，滑槽机构包括开设在进风管前后两侧的内壁的水平滑槽。

进一步地，密封百叶窗可用挡风机构代替，挡风机构包括竖直方向上交替设置的若干水平的固定挡条与活动挡条，若干固定挡条与活动挡条组合为完整的挡板，固定挡条两端固定在进风管前后两侧内壁上，活动挡条固定在连杆上。

进一步地，固定挡条与活动挡条的横截面均为梯形。

本实用新型的有益效果如下：