[实用新型]一种PECVD特气管路

权利要求书

1.一种PECVD特气管路，包括特气管，与其相连通的管道组件，其特征在于，所述特气管上均匀开设气孔；所述气孔面积相同，呈直线排列，其开孔方向面向硅片；所述管道组件包括相连通的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件和三通接头；所述三通接头的三个接口分别连接第一管道组件、第二管道组件第三管道组件的一端；所述气孔包括气孔本体和气流引导装置，所述气流引导装置位于气孔本体外侧，所述气流引导装置从上到下横截面逐渐缩小，包括第一引导装置和第二引导装置，所述第一引导装置位于第二引导装置下方，所述第一引导装置和第二引导装置的横剖面为圆形，纵剖面为梯形；所述第二引导装置的高度为第一引导装置的一半。

2.根据权利要求1所述的PECVD特气管路，其特征在于，所述第一引导装置和第二引导装置的横剖面与气孔本体的横剖面同圆心。

3.根据权利要求1所述的PECVD特气管路，其特征在于，所述气流引导装置材质为不锈钢。

4.根据权利要求1所述的PECVD特气管路，其特征在于，所述气孔数量为至少15个。

5.根据权利要求1所述的PECVD特气管路，其特征在于，所述气流引导装置以焊接方式固定在特气管上。

6.根据权利要求1所述的PECVD特气管路，其特征在于，三通接头的接口与第二管道组件的连通点在第二管道组件的右侧管体上，三通接头的接口与第三管道组件的连通点在第三管道组件的左侧管体上。

7.根据权利要求1所述的PECVD特气管路，其特征在于，所述第一引导装置的高度为0.8mm；其侧壁与水平面的角度为60°。

8.根据权利要求1所述的PECVD特气管路，其特征在于，所述第二引导装置的高度为0.4mm；其侧壁与水平面的角度为40°。

9.根据权利要求1所述的PECVD特气管路，其特征在于，所述气孔本体的直径为1mm。

10.根据权利要求9所述的PECVD特气管路，其特征在于，相邻两个气孔本体的中心距离为2.5～3mm。