[实用新型]一种用于基板后清洗的流体控制装置和流体供应设备

权利要求书

1.一种用于基板后清洗的流体控制装置，其特征在于，包括受控于主控模块的第一控制部件和受控于安全控制模块的第二控制部件；所述第一控制部件与所述第二控制部件串联至用于控制流体存储容器的管路通断的执行部件；在所述主控模块工作异常时，所述安全控制模块控制所述第二控制部件动作以使所述执行部件断开所述流体存储容器的管路。

2.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述第一控制部件的通断状态受控于所述主控模块，所述第二控制部件的通断状态受控于所述安全控制模块。

3.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述第一控制部件包括第一电磁阀，所述第二控制部件包括第二电磁阀，所述执行部件包括第一气动阀；

所述第二电磁阀与所述第一电磁阀和所述第一气动阀之间通过连通管路连接。

4.如权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，所述第一电磁阀为常断的电磁阀，所述第二电磁阀为常通的电磁阀；

在所述主控模块工作正常时，所述第二电磁阀保持常通状态以使所述主控模块通过所述第一电磁阀控制所述第一气动阀导通或断开所述流体存储容器的管路。

5.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述安全控制模块包括安全控制单元和传感器单元；

所述安全控制单元分别与所述传感器单元和所述第二控制部件连接；

所述安全控制单元通过所述传感器单元检测到所述流体存储容器的状态异常时，控制所述第二控制部件动作以使所述执行部件断开所述流体存储容器的管路。

6.如权利要求5所述的流体控制装置，其特征在于，所述传感器单元包括用于检测所述流体存储容器的管路压力的压力传感器、用于检测装有所述流体存储容器的流体柜内气体浓度的气体传感器和/或用于检测所述流体柜的柜门开关状态的门锁检测器。

7.如权利要求5所述的流体控制装置，其特征在于，所述安全控制单元包括互锁控制子单元、安全输入输出子单元和检测子单元；

所述互锁控制子单元分别与所述安全输入输出子单元和所述检测子单元连接，所述安全输入输出子单元与所述第二控制部件连接，所述检测子单元与所述传感器单元连接；

所述检测子单元获取所述传感器单元采集的信号并发送至所述互锁控制子单元，所述互锁控制子单元按照预设互锁规则输出开关信号至所述安全输入输出子单元，所述安全输入输出子单元按照所述开关信号控制所述第二控制部件相应的动作。

8.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述安全控制模块与所述主控模块之间通过分布式I/O模块连接，所述分布式I/O模块包括与所述主控模块连接的第一总线耦合器以及与所述安全控制模块连接的第二总线耦合器，所述第一总线耦合器与所述第二总线耦合器连接。

9.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，所述第一控制部件包括第一电磁阀、第三电磁阀和第五电磁阀，所述第二控制部件包括第二电磁阀、第四电磁阀和第六电磁阀，所述执行部件包括第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀；

所述第一气动阀连接于所述流体存储容器的加压管路，所述第二气动阀连接于所述流体存储容器的输入管路，所述第三气动阀连接于所述流体存储容器的输出管路；

所述第二电磁阀与所述第一气动阀和所述第一电磁阀之间通过第一连通管路连接，所述第四电磁阀与所述第二气动阀和所述第三电磁阀之间通过第二连通管路连接，所述第六电磁阀与所述第三气动阀和所述第五电磁阀之间通过第三连通管路连接。

10.一种用于基板后清洗的流体供应设备，其特征在于，包括流体存储容器和用于控制所述流体存储容器的管路通断的执行部件，以及与所述执行部件连接的如权利要求1至9任一项所述的流体控制装置。