[实用新型]一种高效恢复整流二极管的酸洗装置有效
| 申请号: | 201920534004.6 | 申请日: | 2019-04-19 |
| 公开(公告)号: | CN210129486U | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
| 发明(设计)人: | 高建明;侯立磊;王秀庭;潘淑松;历余良 | 申请(专利权)人: | 南京创锐半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 郭俊玲 |
| 地址: | 211505 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 高效 恢复 整流二极管 酸洗 装置 | ||
1.一种高效恢复整流二极管的酸洗装置,包括壳体(1),其特征在于,所述壳体(1)的顶端分布设置有水管(2),水管(2)下端分布设置有喷头(3),壳体(1)内的底端设置有存液槽(4),存液槽(4)左侧分布设置有上水管(5),存液槽(4)的右侧设置有排水管(6)和进水管(7),排水管(6)设置在进水管(7)的下端,壳体(1)左侧外壁的中部设置有电机(8),电机(8)与壳体(1)内设置的电机杆(9)相连接,电机杆(9)右侧设置有第一放置板(10)和第二放置板(11),壳体(1)的右侧内壁上设置有转轴(12),第一放置板(10)和第二放置板(11)均与转轴(12)相连接,壳体(1)的后侧壁上设置有伸缩顶出杆(13),第一放置板(10)与第二放置板(11)之间设置有开口(14),壳体(1)的前侧设置有开口(14),伸缩顶出杆(13)与开口(14)相对应设置。
2.根据权利要求1所述的一种高效恢复整流二极管的酸洗装置,其特征在于,所述存液槽(4)的底端设置有酸性检测器(15)和温度控制器(16),所述温度控制器(16)设置在酸性检测器(15)的右侧,所述温度控制器(16)是用来控制液体的温度对其加热或降温。
3.根据权利要求1所述的一种高效恢复整流二极管的酸洗装置,其特征在于,所述每个上水管(5)与每个水管(2)对应连接,所述每个上水管(5)上均设置有抽水泵(17)。
4.根据权利要求1所述的一种高效恢复整流二极管的酸洗装置,其特征在于,所述电机(8)每次只能旋转180度,所述第一放置板(10)和第二放置板(11)均为筛网板,所述第二放置板(11)内设置有重力传感器(18),所述第一放置板(10)的前端分布设置有限位块(19),所述限位块(19)与重力传感器(18)相连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





