[实用新型]一种真空镀膜的沉积装置有效

专利信息
申请号: 201920481322.0 申请日: 2019-04-10
公开(公告)号: CN209989461U 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 傅其裕 申请(专利权)人: 百腾科技(苏州)有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44;C23C16/458
代理公司: 11350 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 汤东凤
地址: 215000 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 转轴 从动带轮 主动带轮 沉积室 轴套 本实用新型 电机 沉积装置 齿形皮带 旋转组件 真空镀膜 镀膜处理 镀膜死角 电机轴 均匀性 侧端 镀膜 沉积 轴承 室内 保证
【说明书】:

实用新型公开了一种真空镀膜的沉积装置,该种真空镀膜的沉积装置包括机架、沉积室、轴套、转轴、从动带轮、电机、主动带轮、齿形皮带和旋转组件,所述机架上固定有沉积室,沉积室底部安装有轴套,轴套里通过轴承插装有转轴,转轴底部安装有从动带轮,机架侧端还设有电机,电机的电机轴上安装有主动带轮,从动带轮和主动带轮通过齿形皮带连接,沉积室内的转轴上设置有旋转组件。通过上述方式,本实用新型结构紧凑,运行平稳,能够对多种类型以及尺寸的产品进行镀膜处理,保证镀膜的均匀性,减少镀膜死角,效率高。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域,特别是涉及一种真空镀膜的沉积装置。

背景技术

paryleneC或paryleneN为聚对二甲苯,聚对二甲苯为一种新型热塑性塑料,用于制作极薄薄膜或沉积涂层,聚对二甲苯具有良好的气体、水汽阻隔性能、物理机械性能、电绝缘性以及防腐蚀性,在硅橡胶、磁性材料、电路板、医疗器件、书籍画卷、历史文物、LED灯和传感器等领域有着广泛的应用,传统的一种真空镀膜的沉积装置存在以下缺点:镀膜产品单一,产品表面难以均匀附着镀膜层,基于以上缺陷和不足,有必要对现有的技术予以改进。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种真空镀膜的沉积装置,结构紧凑,运行平稳,能够对多种类型以及尺寸的产品进行镀膜处理,保证镀膜的均匀性,减少镀膜死角,效率高。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种真空镀膜的沉积装置,该种真空镀膜的沉积装置包括机架、沉积室、轴套、转轴、从动带轮、电机、主动带轮、齿形皮带和旋转组件,所述机架上固定有沉积室,沉积室底部安装有轴套,轴套里通过轴承插装有转轴,转轴底部安装有从动带轮,机架侧端还设有电机,电机的电机轴上安装有主动带轮,从动带轮和主动带轮通过齿形皮带连接,电机驱动主动带轮转动,主动带轮带动转轴转动,沉积室内的转轴上设置有旋转组件。

优选的是,所述沉积室包括腔体、腔体上盖、腔体下盖、进料法兰连接管、出料连接管和观察窗口,所述腔体呈桶状,腔体上部和上部分别安装有腔体下盖和腔体上盖,腔体中部两侧分别连接有进料法兰连接管和出料连接管,所述进料法兰连接管与裂解管的对接法兰固定连接,出料连接管连接到制冷机,腔体前部还设置有观察窗口,腔体上还设置有偶联剂接口和两真空探头接口。

优选的是,所述旋转组件包括底盘、连接杆、隔板和PCV管,所述底盘固定于转轴上,底盘上竖直固定有三根连接杆,连接杆上等距套有隔板,隔板为1层~30层,隔板根据镀膜产品选用不同层,相邻隔板之间的连接杆上套有PCV管,所述PCV管用于控制隔板之间的距离。

优选的是,所述隔板上设有蜂窝孔,蜂窝孔便于产品镀膜。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:结构紧凑,运行平稳,能够对多种类型以及尺寸的产品进行镀膜处理,效率高;

根据镀膜产品选用不同层数隔板,利用率高,适用范围广;

电机驱动待镀膜产品转动,保证镀膜的均匀性,减少镀膜死角。

附图说明

图1为一种真空镀膜的沉积装置的结构示意图。

图2为一种真空镀膜的沉积装置的内部结构示意图。

图3为一种真空镀膜的沉积装置的隔板部分剖视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型较佳实施例进行详细阐述,以使实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

请参阅图1至图3,本实用新型实施例包括:

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