[实用新型]一种真空镀膜的沉积装置有效
申请号: | 201920481322.0 | 申请日: | 2019-04-10 |
公开(公告)号: | CN209989461U | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 傅其裕 | 申请(专利权)人: | 百腾科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/458 |
代理公司: | 11350 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 转轴 从动带轮 主动带轮 沉积室 轴套 本实用新型 电机 沉积装置 齿形皮带 旋转组件 真空镀膜 镀膜处理 镀膜死角 电机轴 均匀性 侧端 镀膜 沉积 轴承 室内 保证 | ||
本实用新型公开了一种真空镀膜的沉积装置,该种真空镀膜的沉积装置包括机架、沉积室、轴套、转轴、从动带轮、电机、主动带轮、齿形皮带和旋转组件,所述机架上固定有沉积室,沉积室底部安装有轴套,轴套里通过轴承插装有转轴,转轴底部安装有从动带轮,机架侧端还设有电机,电机的电机轴上安装有主动带轮,从动带轮和主动带轮通过齿形皮带连接,沉积室内的转轴上设置有旋转组件。通过上述方式,本实用新型结构紧凑,运行平稳,能够对多种类型以及尺寸的产品进行镀膜处理,保证镀膜的均匀性,减少镀膜死角,效率高。
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术领域,特别是涉及一种真空镀膜的沉积装置。
背景技术
paryleneC或paryleneN为聚对二甲苯,聚对二甲苯为一种新型热塑性塑料,用于制作极薄薄膜或沉积涂层,聚对二甲苯具有良好的气体、水汽阻隔性能、物理机械性能、电绝缘性以及防腐蚀性,在硅橡胶、磁性材料、电路板、医疗器件、书籍画卷、历史文物、LED灯和传感器等领域有着广泛的应用,传统的一种真空镀膜的沉积装置存在以下缺点:镀膜产品单一,产品表面难以均匀附着镀膜层,基于以上缺陷和不足,有必要对现有的技术予以改进。
实用新型内容
本实用新型主要解决的技术问题是提供一种真空镀膜的沉积装置,结构紧凑,运行平稳,能够对多种类型以及尺寸的产品进行镀膜处理,保证镀膜的均匀性,减少镀膜死角,效率高。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种真空镀膜的沉积装置,该种真空镀膜的沉积装置包括机架、沉积室、轴套、转轴、从动带轮、电机、主动带轮、齿形皮带和旋转组件,所述机架上固定有沉积室,沉积室底部安装有轴套,轴套里通过轴承插装有转轴,转轴底部安装有从动带轮,机架侧端还设有电机,电机的电机轴上安装有主动带轮,从动带轮和主动带轮通过齿形皮带连接,电机驱动主动带轮转动,主动带轮带动转轴转动,沉积室内的转轴上设置有旋转组件。
优选的是,所述沉积室包括腔体、腔体上盖、腔体下盖、进料法兰连接管、出料连接管和观察窗口,所述腔体呈桶状,腔体上部和上部分别安装有腔体下盖和腔体上盖,腔体中部两侧分别连接有进料法兰连接管和出料连接管,所述进料法兰连接管与裂解管的对接法兰固定连接,出料连接管连接到制冷机,腔体前部还设置有观察窗口,腔体上还设置有偶联剂接口和两真空探头接口。
优选的是,所述旋转组件包括底盘、连接杆、隔板和PCV管,所述底盘固定于转轴上,底盘上竖直固定有三根连接杆,连接杆上等距套有隔板,隔板为1层~30层,隔板根据镀膜产品选用不同层,相邻隔板之间的连接杆上套有PCV管,所述PCV管用于控制隔板之间的距离。
优选的是,所述隔板上设有蜂窝孔,蜂窝孔便于产品镀膜。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:结构紧凑,运行平稳,能够对多种类型以及尺寸的产品进行镀膜处理,效率高;
根据镀膜产品选用不同层数隔板,利用率高,适用范围广;
电机驱动待镀膜产品转动,保证镀膜的均匀性,减少镀膜死角。
附图说明
图1为一种真空镀膜的沉积装置的结构示意图。
图2为一种真空镀膜的沉积装置的内部结构示意图。
图3为一种真空镀膜的沉积装置的隔板部分剖视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型较佳实施例进行详细阐述,以使实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
请参阅图1至图3,本实用新型实施例包括:
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的