[实用新型]一种十字滑台位置调节机构有效
申请号: | 201920456773.9 | 申请日: | 2019-04-07 |
公开(公告)号: | CN209675249U | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 陈子奇 | 申请(专利权)人: | 翼龙设备(大连)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116600 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 滑动件 调整螺栓 底座 调整螺栓支座 本实用新型 螺纹孔 位置调节机构 调节方便 节省空间 生产效率 十字滑台 台上设备 限位作用 紧固件 紧固 螺接 左端 轴承 移动 保证 生产 | ||
本实用新型公开了一种十字滑台位置调节机构,包括底座、第一滑动件和第二滑动件,底座的顶部通过第一滑动件连接有X向滑台,X向滑台的右端设有第一螺纹孔,底座的右端固定安装有X向调整螺栓支座,X向调整螺栓支座的顶端嵌设有第一轴承,X向调整螺栓的左端螺接在第一螺纹孔内,X向滑台上设有第一紧固件,本实用新型通过在上设有X向滑台,X向滑台上设有Y向滑台,X向滑台和Y向滑台分别通过X向调整螺栓和Y向调整螺栓进行调节,且通过第一滑动件和第二滑动件的限位作用,实现Y向滑台上设备的移动,结构简单,调节方便,提高生产效率,固定紧固,保证生产精度,减少零件数量,节省空间,降低成本。
技术领域
本实用新型涉及调节机构技术领域,具体为一种十字滑台位置调节机构。
背景技术
在半导体封装设备上,为了调节顶针机构的位置,使顶针能够准确地撑起需要抓取的晶圆,通常会采用交叉滚子进行调节,交叉滚子安装调节比较复杂,固定后耐冲击性差,容易发生窜动,使精度下降,影响生产效率,且交叉滚子在使用时,配合零件多,机械结构复杂,占用空间大,成本高,为此,我们提出一种十字滑台位置调节机构。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种十字滑台位置调节机构,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种十字滑台位置调节机构,包括底座、第一滑动件和第二滑动件,所述底座的顶部通过第一滑动件连接有X向滑台,所述X向滑台的右端设有第一螺纹孔,所述底座的右端固定安装有X向调整螺栓支座,所述X向调整螺栓支座的顶端嵌设有第一轴承,所述第一轴承的内圈内侧壁固定安装有X向调整螺栓,所述X向调整螺栓的左端螺接在第一螺纹孔内,所述X向滑台上设有第一紧固件;
所述X向滑台的顶部通过第二滑动件连接有Y向滑台,所述Y向滑台的前端设有第二螺纹孔,所述X向滑台的前端固定安装有Y向调整螺栓支座,所述Y向调整螺栓支座的顶端嵌设有第二轴承,所述第二轴承的内圈内侧壁固定安装有Y向调整螺栓,所述Y向调整螺栓的后端螺接在第二螺纹孔内,所述Y向滑台上设有第二紧固件。
优选的,所述第一滑动件包括第一滑块,所述底座的顶部设有第一滑道,所述第一滑块滑动安装在第一滑道内。
优选的,所述第二滑动件包括第二滑块,所述X向滑台的顶部设有第二滑道,所述第二滑块滑动安装在第二滑道内。
优选的,所述第一紧固件包括第一螺纹槽、第一长条孔和紧固螺栓,所述第一螺纹槽和第一长条孔分别设置在底座的顶部和X向滑台的顶部。
优选的,所述第二紧固件包括第二螺纹槽、第一长条孔和紧固螺栓,所述第二螺纹槽和第一长条孔分别设置在X向滑台和Y向滑台上。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型通过在上设有X向滑台,X向滑台上设有Y向滑台,X向滑台和Y向滑台分别通过X向调整螺栓和Y向调整螺栓进行调节,且通过第一滑动件和第二滑动件的限位作用,实现Y向滑台上设备的移动,结构简单,调节方便,提高生产效率,固定紧固,保证生产精度,减少零件数量,节省空间,降低成本。
附图说明
图1为本实用新型的整体主视图。
图2为本实用新型的整体俯视图。
图3为本实用新型的整体左视图。
图4为本实用新型的整体立体图。
图中:1、底座,2、X向滑台,3、Y向滑台,4、Y向调整螺栓,5、第二长条孔,6、Y向调整螺栓支座,7、X向调整螺栓,8、X向调整螺栓支座,9、第一滑动件,10、第一紧固件,11、第二滑动件,12、第二紧固件,13、第一轴承,14、第一螺纹孔,15、第二轴承,16、第二螺纹孔,17、第一滑道,18、第一滑块,19、第二滑道,20、第二滑块,21、第一螺纹槽,22、第一长条孔,23、第二螺纹槽。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于翼龙设备(大连)有限公司,未经翼龙设备(大连)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920456773.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种音圈电机直驱抓取机构
- 下一篇:一种半导体封装设备用零件偏移碰撞报警机构
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造