[实用新型]一种十字滑台位置调节机构有效
| 申请号： | 201920456773.9 | 申请日： | 2019-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN209675249U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 陈子奇 | 申请（专利权）人： | 翼龙设备(大连)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滑动件 调整螺栓 底座 调整螺栓支座 本实用新型 螺纹孔 位置调节机构 调节方便 节省空间 生产效率 十字滑台 台上设备 限位作用 紧固件 紧固 螺接 左端 轴承 移动 保证 生产 | ||
1.一种十字滑台位置调节机构，其特征在于：包括底座（1）、第一滑动件（9）和第二滑动件（11），所述底座（1）的顶部通过第一滑动件（9）连接有X向滑台（2），所述X向滑台（2）的右端设有第一螺纹孔（14），所述底座（1）的右端固定安装有X向调整螺栓支座（8），所述X向调整螺栓支座（8）的顶端嵌设有第一轴承（13），所述第一轴承（13）的内圈内侧壁固定安装有X向调整螺栓（7），所述X向调整螺栓（7）的左端螺接在第一螺纹孔（14）内，所述X向滑台（2）上设有第一紧固件（10）；
所述X向滑台（2）的顶部通过第二滑动件（11）连接有Y向滑台（3），所述Y向滑台（3）的前端设有第二螺纹孔（16），所述X向滑台（2）的前端固定安装有Y向调整螺栓支座（6），所述Y向调整螺栓支座（6）的顶端嵌设有第二轴承（15），所述第二轴承（15）的内圈内侧壁固定安装有Y向调整螺栓（4），所述Y向调整螺栓（4）的后端螺接在第二螺纹孔（16）内，所述Y向滑台（3）上设有第二紧固件（12）。
2.根据权利要求1所述的一种十字滑台位置调节机构，其特征在于：所述第一滑动件（9）包括第一滑块（18），所述底座（1）的顶部设有第一滑道（17），所述第一滑块（18）滑动安装在第一滑道（17）内。
3.根据权利要求1所述的一种十字滑台位置调节机构，其特征在于：所述第二滑动件（11）包括第二滑块（20），所述X向滑台（2）的顶部设有第二滑道（19），所述第二滑块（20）滑动安装在第二滑道（19）内。
4.根据权利要求1所述的一种十字滑台位置调节机构，其特征在于：所述第一紧固件（10）包括第一螺纹槽（21）、第一长条孔（22）和紧固螺栓，所述第一螺纹槽（21）和第一长条孔（22）分别设置在底座（1）的顶部和X向滑台（2）的顶部。
5.根据权利要求1所述的一种十字滑台位置调节机构，其特征在于：所述第二紧固件（12）包括第二螺纹槽（23）、第二长条孔（5）和紧固螺栓，所述第二螺纹槽（23）和第二长条孔（5）分别设置在X向滑台（2）和Y向滑台（3）上。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
