[实用新型]一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置有效

专利信息
申请号: 201920315136.X 申请日: 2019-03-13
公开(公告)号: CN209890731U 公开(公告)日: 2020-01-03
发明(设计)人: 蔡金明;侯元捷;蔡晓明 申请(专利权)人: 广东墨睿科技有限公司
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;C23C16/50
代理公司: 44450 东莞科强知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 肖冬
地址: 523000 广东省东莞市道滘镇万道路*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 主腔体 反应气体 进气孔 气源 主腔 等离子体增强 本实用新型 抽真空系统 反应腔体 活性增强 置物口 进气口 化学气相沉积装置 体内 二维薄膜材料 温度测量装置 温度显示装置 真空测量装置 进气口连接 温度传感器 等离子化 反应周期 加热装置 温度降低 测量头 开合门 体内部 法兰 制备 气管 出口 人口
【权利要求书】:

1.一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置,其包括:

气源,用于提供碳氢气体;

反应腔体,其设有进气口和置物口,置物口设有开合门;

主腔体,所述反应腔体位于主腔体内;主腔体内部设有用于对反应腔体加热的加热装置,表面设有进气孔,进气孔通过气管与进气口连接;

温度测量装置,包括设置于反应腔体内部或表面的温度传感器以及用于显示温度的温度显示装置;

抽真空系统,抽真空系统与主腔体连接,用于降低主腔体内部的气压;

真空测量装置,连接于主腔体,其包括插入主腔体内的测量头;

其特征在于:还包括:等离子体增强装置,其设置于气源与主腔体之间,等离子体增强装置设有活性增强入口和活性增强出口,气源通过管道与活性增强入口连接,活性增强出口通过法兰与进气孔连接;气体通过等离子体增强装置进入到主腔体内的反应腔体。

2.根据权利要求1所述的一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置,其特征在于:所述管道连接有用于控制气体流量的气体流量控制阀。

3.根据权利要求1所述的一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置,其特征在于:气管还连接有开关阀。

4.根据权利要求1所述的一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置,其特征在于:所述反应腔体内设有用于放置基底的样品架。

5.根据权利要求1所述的一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置,其特征在于:温度显示装置包括温度仪表或显示器。

6.根据权利要求1所述的一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置,其特征在于:所述等离子体增强装置包括射频电源装置、微波装置、辉光放电装置、电子回旋共振装置或电感耦合装置等离子源。

7.根据权利要求1所述的一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置,其特征在于:主腔体与抽真空系统之间设有阀门。

8.根据权利要求1所述的一种制备二维薄膜材料的化学气相沉积装置,其特征在于:所述抽真空系统包括机械泵和分子泵。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东墨睿科技有限公司,未经广东墨睿科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920315136.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top