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[发明专利]一种尾气处理系统和处理方法-CN201910360357.3在审
发明人：王大祥;唐万福;奚勇 -专利权人：上海必修福企业管理有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： F01N3/01 文献下载
摘要：本发明提供一种尾气处理系统和处理方法，该处理系统包括若干段等离子化催化模块，等离子化催化模块包括：等离子化单元，用于将待处理流股进行等离子化，以提供经受等离子化处理的流股；催化反应单元，用于将经受等离子化处理的流股进行催化反应所述处理方法将待处理流股进行若干段等离子化催化，等离子化催化包括：将待处理流股进行等离子化；再进行催化反应。该尾气处理系统和处理方法将等离子化单元和催化反应单元相结合，优选还包括紫外光催化模块，达到持续、稳定、长久、可靠地同时解决NOx和PM排放问题，且还可同时净化碳氢化合物
一种尾气处理系统方法

[发明专利]用于高深宽比蚀刻的等离子体蚀刻工具-CN202080021021.5在审
发明人：索斯藤·利尔;伊凡·L·贝里三世;西奥多罗斯·帕纳戈普路斯 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2020-03-06 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：利用等离子体蚀刻设备以蚀刻高深宽比特征，该等离子体蚀刻设备可以在使低能量的反应性物质的负离子加速与使高能量的惰性气体物质的正离子加速之间交替进行。该等离子体蚀刻设备可被分成至少两个区域，其将等离子体产生空间与离子化空间分隔开。在等离子体产生空间中点燃等离子体时，可通过离子化空间中的电子附着离子化而产生反应性物质的负离子。在等离子体产生空间中等离子体熄灭时，可通过离子化空间中的潘宁离子化而产生惰性气体物质的正离子。
用于高深蚀刻等离子体工具

[发明专利]用于液体燃料燃烧用燃烧添加剂的添加方法及等离子化装置-CN201180041524.X无效
发明人：徐维礼;朱核光 -专利权人：深圳市泓耀环境科技发展股份有限公司
申请日： 2011-01-26 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：一种用于液体燃料燃烧用燃烧添加剂的添加方法及等离子化装置。添加方法包括如下步骤：燃烧添加剂进入等离子装置内的电极区（8）或电极区（8）外的等离子反应区（9），使其成为等离子化的气体；将等离子化的气体引入燃烧器，参与液体燃料的燃烧。等离子装置包括反应容器（1）、电极（3，4）、电源（5）、载气进气装置（2）、加料装置（6）及等离子化反应容器出口（7）。被等离子化的燃烧添加剂参与液体燃料的燃烧，提高了燃料效率，节能环保。
用于液体燃料燃烧添加剂添加方法离子化装置

[发明专利]质谱仪及其离子化装置-CN201410042449.4在审
发明人：田禾;孙金龙;张小华;张华;刘晓超 -专利权人：北京普析通用仪器有限责任公司
申请日： 2014-01-28 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明提出了一种离子化装置，用于离子化样品分子，离子化装置包括原子化器及微波等离子体发射器，原子化器接收样品分子并使其原子化，微波等离子体发射器用于射出微波等离子体，并通过微波等离子体使原子化的样品分子离子化本发明将高温原子化方式与微波等离子体方式结合起来，实现了样品的原子化及离子化，巧妙弥补了原有微波等离子光源能量不足的缺陷，提高了质谱仪的灵敏度。其中，原子化器产生的高温具有较大的能量，可使大部分样品被原子化，并得到样品的金属基态原子。有效弥补了微波等离子体光源能量较弱，电离度较低的缺点。
质谱仪及其离子化装置

[发明专利]等离子体质谱仪及其离子化装置-CN201710767945.X在审
发明人：孙延锋;姜杰;郭健;顾大伟 -专利权人：天源华威集团有限公司
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明提出了一种离子化装置，用于离子化样品分子，离子化装置包括原子化器及微波等离子体发射器，原子化器接收样品分子并使其原子化，微波等离子体发射器用于射出微波等离子体，并通过微波等离子体使原子化的样品分子离子化本发明将高温原子化方式与微波等离子体方式结合起来，实现了样品的原子化及离子化，巧妙弥补了原有微波等离子光源能量不足的缺陷，提高了质谱仪的灵敏度。其中，原子化器产生的高温具有较大的能量，可使大部分样品被原子化，并得到样品的金属基态原子。有效弥补了微波等离子体光源能量较弱，电离度较低的缺点。
微波等离子体原子化离子化装置原子化器发射器样品分子离子化等离子体质谱仪微波等离子光源离子化样品光源能量基态原子能量不足电离度灵敏度质谱仪射出金属

[实用新型]质谱仪及其离子化装置-CN201420056019.3有效
发明人：田禾;孙金龙;张小华;张华;刘晓超 -专利权人：北京普析通用仪器有限责任公司
申请日： 2014-01-28 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种质谱仪及其离子化装置，用于离子化样品分子，离子化装置包括原子化器及微波等离子体发射器，原子化器接收样品分子并使其原子化，微波等离子体发射器用于射出微波等离子体，并通过微波等离子体使原子化的样品分子离子化本实用新型将高温原子化方式与微波等离子体方式结合起来，实现了样品的原子化及离子化，巧妙弥补了原有微波等离子光源能量不足的缺陷，提高了质谱仪的灵敏度。其中，原子化器产生的高温具有较大的能量，可使大部分样品被原子化，并得到样品的金属基态原子。有效弥补了微波等离子体光源能量较弱，电离度较低的缺点。
质谱仪及其离子化装置

[发明专利]一种基于特斯拉线圈原理的质谱离子化方法-CN202111530952.0在审
发明人：郭寅龙;朱苏珍;包茗脉;柏家辉;祝子朦;张立;张菁 -专利权人：中国科学院上海有机化学研究所
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01J49/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于特斯拉线圈原理的质谱离子化方法，是通过特斯拉线圈产生微型等离子体束，以产生的微型等离子体束为离子源，使液体样品被解吸并引入微型等离子体束区域发生离子化，或使气体样品被引入微型等离子体束区域直接发生离子化本发明通过创造性地以特斯拉线圈产生的微型等离子体束为离子源，不仅实现了离子化能力强、能对挥发性气体样品和低极性或非极性液体样品均具有良好离子化效果的质谱离子化分析，且所需样品体积可低至皮升至微升级，对溶剂兼容性好
一种基于特斯拉线圈原理离子化方法

[发明专利]离子化装置和包含离子化装置的质谱仪-CN201580068638.1有效
发明人： M.阿利曼;钟显耀;G.费多森科;R.罗伊特;A.劳厄;A.冯科伊德尔;M.伯克;T.本特;J.温特;P.阿瓦科维茨;L.戈尔霍弗 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H01J27/08 文献下载
摘要：本发明关于一种离子化装置(1)，其包括：等离子体产生装置(4)，在初级等离子体区(9)中产生亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)；场产生装置(13)，在次级等离子体区(10)中产生辉光放电(12)；进气口(2)，将待离子化的气体(3)供应入次级等离子体区(10)；以及另一进气口(5)，将离子化气体(6)的亚稳粒子(6a)和/或离子(6b)供应入次级等离子体区(10)。本发明还关于一种质谱仪(20)，包含此种离子化装置(1)；以及检测器(17)，其设置于离子化装置(1)的排气口(16)下游，用于该离子化的气体(3a、3a′)的质谱分析。
离子化装置包含质谱仪

[发明专利]一种曝气设备的气体离子化单元-CN201110283011.1无效
发明人：周靖;崔杰 -专利权人：周靖
申请日： 2011-09-22 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C02F3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种曝气设备的气体离子化单元，该离子化单元由气泵和离子化装置组成；空气经加压后进入离子化单元，经高频电流作用产生等离子化、极性化。
一种设备气体离子化单元

[发明专利]一种消除硅凹坑的方法-CN201310048907.0有效
发明人：王辉;黄兆兴 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2013-02-07 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： H01L21/8247 文献下载
摘要：本发明公开了一种消除硅凹坑的方法，该方法包括离子化金属等离子注入和湿法腐蚀步骤，其特征在于在所述离子化金属等离子步骤中，将所述离子化金属等离子注入系统中的淹没式等离子体枪关闭；在所述湿法工艺中用稀释HF
一种消除硅凹坑方法

[发明专利]利用水中等离子体放电的离子化水供应装置-CN200480022366.3无效
发明人：安德森·H·金 -专利权人：金玉顺;安德森·H·金
申请日： 2004-07-29 - 公布日： 2006-09-13 - 主分类号： C02F1/46 文献下载
摘要：本发明配备有容器(例如杯子)，可进行制造等离子体离子化水的水中放电，由此阴离子(例如O₃^－、OH^－、HOCl、H₂根据本发明的离子化水供应装置包括用于容纳水的容器、用于使容器中的水等离子体离子化的水中离子化单元、以及用于为水中离子化单元提供电源的供电单元。
利用水中等离子体放电离子化供应装置

[发明专利]用于PFCs废气处理的涡流等离子体反应器-CN201310123807.X有效
发明人：张荣兴 -专利权人：丰映科技股份有限公司;张荣兴
申请日： 2013-04-10 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：一种用于PFCs废气处理的涡流等离子体反应器，利用具有多数个废气收集管将废气收集后，经过火焰防阻器保护，再加入所需适量水分、空气等，以切线方式由位于涡流等离子体反应器顶部的第一气体注入装置以涡旋方式注入涡流等离子体反应器，利用中央的等离子体火炬将废气等离子化，进行反应所需过量空气以切线方式由位于涡流等离子体反应器末端的第二气体注入装置以逆向涡旋方式注入涡流等离子体反应器，并与高温的反应器导流管接触预热后以逆旋方式汇入被等离子化的高温废气中，使等离子化的废气与过量空气产生混合，再经高频感应线圈加热维持等离子化，使废气在涡流等离子体反应器内与等离子体充分混合维持一定反应时间而被彻底破坏。
用于 pfcs 废气处理涡流等离子体反应器

[发明专利]气体处理装置-CN200910205028.8有效
发明人：田中利夫;茂木完治;香川谦吉 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2004-06-22 - 公布日： 2010-04-21 - 主分类号： B03C3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种电气地收集灰尘、利用等离子体分解臭气等的气体处理装置。为了实现它的小型化，在壳体(20)中，将等离子体产生装置(40)一体地装到离子化部(32)中。离子化部(32)包括离子化线(35)，电极部件(37)中的断面呈“コ”字型的柱状部分构成对峙电极(36)。等离子体产生装置(40)包括第二放电极(41)，同时和离子化线(35)共同拥有对峙电极(36)。在空气净化装置(10)进行运转的过程中，室内空气中较小的灰尘借助离子化线(35)和对峙电极(36)之间的放电而带电，被电聚尘部件(33)捕捉。由于放电电极(41)和对峙电极(36)之间的流注放电而产生低温等离子体，室内空气中的有害物质、带臭气的物质被含在该低温等离子体中的活性种分解。
气体处理装置

[发明专利]气体处理装置-CN200480023026.2有效
发明人：田中利夫;茂木完治;香川谦吉 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2004-06-22 - 公布日： 2006-09-20 - 主分类号： B03C3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种电气地收集灰尘、利用等离子体分解臭气等的气体处理装置。为了实现它的小型化，在壳体(20)中，将等离子体产生装置(40)一体地装到离子化部(32)中。离子化部(32)包括离子化线(35)，电极部件(37)中的断面呈“コ”字型的柱状部分构成对峙电极(36)。等离子体产生装置(40)包括第二放电极(41)，同时和离子化线(35)共同拥有对峙电极(36)。在空气净化装置(10)进行运转的过程中，室内空气中较小的灰尘借助离子化线(35)和对峙电极(36)之间的放电而带电，被电聚尘部件(33)捕捉。由于放电电极(41)和对峙电极(36)之间的流注放电而产生低温等离子体，室内空气中的有害物质、带臭气的物质被含在该低温等离子体中的活性种分解。
气体处理装置

[发明专利]一种能量可调的原位离子化方法-CN202111245499.9有效
发明人：郭寅龙;包茗脉;祝子朦;朱苏珍;柏家辉;张立;张菁 -专利权人：中国科学院上海有机化学研究所
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种能量可调的原位离子化方法，是以脉冲等离子体为离子源，先将样品引入脉冲等离子体区域，然后使样品与脉冲等离子体接触时间≤1秒，至样品发生离子化。本发明创造性地使用脉冲等离子体作为离子源，通过对脉冲等离子体的能量进行调控，不仅可控制化合物的碎裂比例，实现一种软硬可调的离子化方法，能实现对同分异构体的鉴别分析，而且可有效避免样品的氧化、降解、聚合等副反应；并且，可测试的样品范围广泛，形态不限，对挥发性小分子有着较好的离子化效率；同时，还可以与各种样品引入装置进行联用，可在质谱成像方面具有一定的应用前景，对促进敞开式离子化质谱分析技术的广泛应用具有重要价值
一种能量可调原位离子化方法

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