[实用新型]一种适用于MALDI-TOF质谱的浓缩型一次性靶板

权利要求书

1.一种适用于MALDI-TOF质谱的浓缩型一次性靶板，其特征在于，其是由导电支撑座(1)和芯片靶板(2)组成，芯片靶板(2)可拆卸地固定在导电支撑座(1)上，芯片靶板与导电支撑座之间为可导电连接；

芯片靶板(2)的基板由导电性材料制成，其上覆盖疏水覆膜(21)，在疏水覆膜(21)上设置亲水导电材料构成的亲水点阵(22)，亲水点阵(22)中每个点的外径为100微米到1毫米。

2.如权利要求1所述的浓缩型一次性靶板，其特征在于，所述导电支撑座(1)由导电金属做成，该导电金属为不锈钢或者铝合金；导电支撑座(1)与芯片靶板(2)之间通过铁磁性材料可拆卸地连接。

3.如权利要求1所述的浓缩型一次性靶板，其特征在于，所述芯片靶板(2)的基板采用单晶硅片，硅片厚度为500微米到700微米，单面抛光，在抛光面上具有厚度为100纳米到500纳米的二氧化硅层，基板的电阻率为0.01-0.02欧姆/厘米。

4.如权利要求1所述的浓缩型一次性靶板，其特征在于，所述疏水覆膜(21)的材料为聚二甲基硅氧烷，采用镀膜或者喷涂的方式涂覆，疏水覆膜的厚度为2微米到5微米。

5.如权利要求1-4中任一项所述的浓缩型一次性靶板，其特征在于，所述亲水点阵(22)为采用光刻掩膜板、磁控溅射或者蒸馏的方式点镀亲水金属，该亲水金属选自铝、金或镍，点的面积大小一致，金属层的厚度为100纳米～300纳米。

6.如权利要求5所述的浓缩型一次性靶板，其特征在于，所述亲水点阵的位置上底层为金属铬镀层，上层为亲水金属层，该亲水金属选自铝、金或镍。