[实用新型]一种光电二极管有效
申请号: | 201920293851.8 | 申请日: | 2019-03-07 |
公开(公告)号: | CN209282210U | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 曾莹;阮文彪 | 申请(专利权)人: | 地太科特电子制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L31/02 | 分类号: | H01L31/02;H01L31/115;H01L31/18 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 蒋冬梅;栗若木 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 直通孔 光电二极管 阴极 阳极 背面 穿透 光电转换 快速响应 量子效率 申请 | ||
本申请提供一种光电二极管,包括阴极、阳极、衬底、第一直通孔以及第二直通孔,第一直通孔穿透衬底,将阳极引到衬底的背面,第二直通孔穿透衬底,将阴极引到衬底的背面。本申请实施例提供的光电二极管同时具有快速响应和光电转换量子效率高的优点。
技术领域
本申请涉及但不限于二极管领域,特别是一种光电二极管。
背景技术
光电二极管的工作机理如下:一定波长的光作用于半导体PN结(PN junction),入射光子的能量大于或等于半导体材料的禁带宽度,激发出光生非平衡的电子空穴对(即光生载流子),在势垒区两边产生电动势的效应,连上外接电路即转变为电流信号。光电二极管可以作为X射线探测器的核心部件,主要完成光电信号转换功能;X射线探测器通过相关的读取电路、探测模块和分析软件,进行信号采样、分析及数字影像输出,广泛应用于安检、食品检测、医疗、工业无损检测等领域。
实用新型内容
本申请实施例提供了一种光电二极管,同时具有快速响应和光电转换量子效率高的优点。
本申请实施例提供了一种光电二极管,包括:阳极、阴极、衬底、第一直通孔以及第二直通孔,所述阳极和所述阴极设置在所述衬底的正面,所述第一直通孔穿透所述衬底,将所述阳极引到所述衬底的背面,所述第二直通孔穿透所述衬底,将所述阴极引到所述衬底的背面。
本申请实施例提供的光电二极管,通过第一直通孔和第二直通孔,实现在光电二极管的正面照光、背面引线封装的设计;本申请实施例提供的光电二极管同时具有快速响应和光电转换量子效率高的优点,而且制作成本低,有利于规模化生产。此外,本申请实施例提供的光电二极管工作可靠性高,大大提高了该光电二极管的实用性。
本申请的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本申请而了解。本申请的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
附图用来提供对本申请技术方案的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本申请的实施例一起用于解释本申请的技术方案,并不构成对本申请技术方案的限制。
图1为本申请实施例提供的一种光电二极管的正面俯视图;
图2为本申请实施例提供的一种光电二极管的背面俯视图;
图3为图1所示的光电二极管沿A-A方向的剖面示例图;
图4为图1中的光电二极管的第一直通孔沿A-A方向的剖面示例图;
图5为本申请实施例提供的一种光电二极管的制造方法的流程图;
图6为本申请实施例提供的一种光电二极管的制造方法的示例性流程图。
图示说明:
11-第一直通孔,12-第二直通孔,13-隔离层,14-电性连接层,15-填充层,2-衬底,21-第一型掺杂区,22-第二型掺杂区,23-衬底层,31-阳极,32-阴极,41-第一金属片,42-第二金属片,51-第一保护层,52-第二保护层,61-像素区,62-金属走线区。
具体实施方式
为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下文中将结合附图对本申请的实施例进行详细说明。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的