[实用新型]一种管状变形镜

说明书

本实用新型涉及一种管状变形镜，属于光学器件技术领域，所述管状变形镜包括基底层和压电层，且基底层和压电层均呈管状，所述基底层的内表面镀有光学反射膜，且其外表面与压电层的内表面光学粘接，所述压电层的内表面整体镀有第一电极形成变形镜的地电极，且其外表面镀有多个第二电极形成变形镜的驱动器，本实用新型将基底层和压电层设置呈管状，适用于对环形光束进行波前校正，结构新颖，同时，借助入射环形劈板、出射环形劈板增大环形光束入射至管状变形镜内表面的入射角，增大环形光束与管状变形镜的作用区域，有利于管状变形镜在作用区域设置更多的驱动器，增强变形镜的校正能力，实现更好的波前校正效果。

技术领域

本实用新型属于光学器件技术领域，具体地说涉及一种管状变形镜。

背景技术

自适应光学技术在激光装置、天文观测领域的光束质量控制中有着广泛的应用，变形镜是自适应光学技术中的核心器件。目前，变形镜的种类较多，如压电叠堆驱动变形镜、双压电片变形镜、微机械薄膜变形镜、液晶空间相位调制器等。不同的变形镜适用于不同的应用场景，如微机械薄膜变形镜适用于小口径光束的应用；液晶空间相位调制器适用于低功率、小口径光束的应用；压电叠堆驱动的变形镜则由于驱动器尺寸较大，只适用于大口径(数十mm以上)光束的应用。但是，针对光束截面较窄且外径较大的环形光束，传统的变形镜无法较好的进行应用和校正。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种管状变形镜，通过入射环形劈板、出射环形劈板使环形光束以较大的入射角入射至管状变形镜的内表面，增大环形光束与管状变形镜的作用区域，有利于管状变形镜在作用区域设置更多的驱动器，实现更好的波前校正效果。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种管状变形镜，包括基底层和压电层，且基底层和压电层均呈管状，所述基底层的内表面镀有光学反射膜，且其外表面与压电层的内表面光学粘接，所述压电层的内表面整体镀有第一电极形成变形镜的地电极，且其外表面镀有多个第二电极形成变形镜的驱动器。

进一步，所述压电层的内表面镀有第一金属膜作为变形镜的地电极，其外表面镀有第二金属膜，所述第二金属膜分割成多个子模块形成变形镜的驱动器。

进一步，所述压电层的内径大于基底层的外径，且两者的差不大于100微米。

进一步，所述压电层的厚度为480-520微米。

另，本实用新型还提供一种管状变形镜的使用方法，包括如下步骤：

S1：沿着环形光束的传输方向，管状变形镜的前端放置入射环形劈板，管状变形镜的后端放置出射环形劈板，所述入射环形劈板与出射环形劈板的材质及结构相同，且两者以管状变形镜的中心线为对称轴对称设置；

S2：作为入射光束的环形光束经入射环形劈板传输至管状变形镜的内表面，经管状变形镜内表面反射的环形光束传输至出射环形劈板，且入射环形劈板、出射环形劈板均能增大环形光束入射至管状变形镜内表面的入射角。

进一步，所述入射环形劈板呈环状，其包括第一光束接触面和第二光束接触面，所述第一光束接触面垂直于入射环形劈板的内表面和外表面，所述第二光束接触面倾斜设置，且其与入射环形劈板的外表面存在夹角作为劈角，所述入射环形劈板的第一光束接触面作为环形光束的入射面。

进一步，所述劈角为β，所述环形光束入射至管状变形镜内表面的入射角为θ，则其中，n为入射环形劈板对环形光束的折射率。

进一步，所述步骤S2中，环形光束传输至出射环形劈板并作为输出光束透射输出，所述输出光束与入射光束的形态相同，所述入射环形劈板与出射环形劈板的第一光束接触面和第二光束接触面均镀有高透介质膜。