[实用新型]一种管状变形镜有效
| 申请号： | 201920229909.2 | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN209248157U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王德恩;孙闯;胡东霞;黄磊;袁强;杨英;陈良明;张鑫;邓学伟;李明中 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;清华大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 张明利 |
| 地址： | 621999 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 变形镜 压电层 基底层 内表面 环形光束 校正 驱动器 本实用新型 作用区域 劈板 入射 光学反射膜 第二电极 第一电极 光学器件 表面镀 地电极 入射角 出射 粘接 | ||
【权利要求书】：
1.一种管状变形镜，其特征在于，包括基底层和压电层，且基底层和压电层均呈管状，所述基底层的内表面镀有光学反射膜，且其外表面与压电层的内表面光学粘接，所述压电层的内表面整体镀有第一电极形成变形镜的地电极，且其外表面镀有多个第二电极形成变形镜的驱动器。
2.根据权利要求1所述的一种管状变形镜，其特征在于，所述压电层的内表面镀有第一金属膜作为变形镜的地电极，其外表面镀有第二金属膜，所述第二金属膜分割成多个子模块形成变形镜的驱动器。
3.根据权利要求2所述的一种管状变形镜，其特征在于，所述压电层的内径大于基底层的外径，且两者的差不大于100微米。
4.根据权利要求3所述的一种管状变形镜，其特征在于，所述压电层的厚度为480-520微米。
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