[实用新型]内表面检查设备

摘要

本实用新型涉及一种内表面检查设备，其为将末端配置于被检查部件的孔的内部来检查孔的内表面的状态的设备。其包括：配置于末端侧，且将从径向外侧入射的光向基端侧反射的反射部；对来自反射部的光进行摄像的摄像单元；在反射部与摄像单元之间沿轴向延伸的光通道；沿轴向延伸的第一气体通道；从第一气体通道朝向径向的第二气体通道；向第一气体通道导入气体的气体导入部；配置于末端侧，且将所述气体从第二气体通道向外部排出的排气口；以及测量被导入至第一气体通道的气体的流量或者压力的测量部。光通道的轴向范围和第一气体通道的轴向范围重叠。因此，检查内表面和测量内径时，相对于设备设置被检查部件的工序仅一次即可，能够提高作业效率。

主权项

一种内表面检查设备，其从基端向末端沿轴向延伸，且至少将所述末端配置于被检查部件的孔的内部，来检查所述被检查部件的形成所述孔的内表面的状态，所述内表面检查设备的特征在于，包括：反射部，所述反射部配置于所述末端侧，且将从径向外侧入射的光向所述基端侧反射；摄像单元，所述摄像单元相对于所述反射部配置于所述基端侧，且对来自所述反射部的光进行摄像；光通道，所述光通道在所述反射部与所述摄像单元之间沿轴向延伸；第一气体通道，所述第一气体通道沿轴向延伸；第二气体通道，所述第二气体通道从所述第一气体通道的所述末端侧朝向径向；气体导入部，所述气体导入部向所述第一气体通道导入气体；排气口，所述排气口配置于所述末端侧，且将所述气体从所述第二气体通道向外部排出；以及测量部，所述测量部测量被导入至所述第一气体通道中的所述气体的流量或者压力，所述光通道的轴向范围和所述第一气体通道的轴向范围重叠。