[实用新型]一种用于氢化炉防短路的发热体及氢化炉

说明书

本实用新型涉及一种用于氢化炉防短路的发热体及氢化炉，包括发热体本体和电极，所述发热体本体的两端均设有防短路组件，所述电极包括正电极和负电极，所述正电极、负电极的外围均设有固定座，且固定座与发热体本体的端部之间设有绝缘陶瓷，所述防短路组件包括筒体以及氮化硅盖板，本实用新型借助氮化硅盖板、绝缘陶瓷和筒体在电极外部形成密闭空间，有效阻挡发热体本体的剥落物在电极处堆积，防止发生短路现象，保证氢化炉安全运行，同时，氮化硅盖板能够减少氢化炉内气流对筒体的冲刷及高温灼烧，延长筒体的使用寿命，此外，气流促使氮化硅盖板能够更加紧密的与筒体盖合，有效防止粉尘物进入到筒体中，避免氢化炉停车。

技术领域

本实用新型属于石墨制品技术领域，具体地说涉及一种用于氢化炉防短路的发热体及氢化炉。

背景技术

在多晶硅的生产技术中，改良西门子法为主要的生产方法。在多晶硅棒的生产过程中，将四氯化硅气体和氢气按一定比例混合后通往氢化炉，位于氢化炉内的石墨发热体在通电后产生大量热能，在高温(1200～1250℃)、高压环境下，四氯化硅和氢气会发生反应。在如此高温、高压条件下，对于氢化炉内电器连接件的考验非常大，为保证产生能够稳定运行，国内多晶硅行业抗蚀绝缘隔热结构主要以石墨耗材和石英耗材为主。

当氢化炉内发生反应时，氢化炉内会产生长期的向下高温、高压冲击的气流。由于石墨及石英材质的抗蚀性能差，气流长期向下冲刷会使炉内抗蚀绝缘隔热结构的石英盖板严重受损，粉尘物进入到抗蚀绝缘隔热结构内，影响绝缘，造成氢化炉停车。同时，电极、发热体长期处于高温腐蚀介质的工作环境下，运行过程中不时出现脱层剥离现象，可能造成电极短路，影响氢化炉的安全运行。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种用于氢化炉防短路的发热体及氢化炉。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于氢化炉防短路的发热体，包括发热体本体和电极，所述发热体本体呈U型，且其两端均设有防短路组件，所述电极包括正电极和负电极，且正电极、负电极分别嵌入发热体本体的两端，所述正电极、负电极的外围均设有固定座，且固定座与发热体本体的端部之间设有绝缘陶瓷，所述正电极、负电极分别贯穿绝缘陶瓷；

所述防短路组件包括两端开口的筒体以及中心具有通孔的氮化硅盖板，所述筒体套设于发热体本体的外围，且其顶部和底部均为斜面结构，所述固定座上设有呈环形的第一凹槽，所述氮化硅盖板位于筒体的上方，且氮化硅盖板的下表面设有呈环形的第二凹槽，所述筒体的底部嵌入第一凹槽内，且筒体的顶部嵌入第二凹槽内，所述第一凹槽和第二凹槽均与斜面结构匹配，所述氮化硅盖板的下方设有与其固连的环形的保护罩，且保护罩套设于发热体本体的外围。

进一步，所述发热体本体的两端均设有内圆槽，所述正电极、负电极分别嵌入内圆槽中。

进一步，所述筒体为石英筒体。

进一步，所述保护罩为氮化硅保护罩。

进一步，所述保护罩的内径大于筒体的外径，且保护罩内径与筒体外径的差为2-3mm。

进一步，所述固定座的上表面设有陶瓷纤维层。

另，本实用新型还提供一种氢化炉，包括炉体，所述炉体的底座上设有上述的发热体。

本实用新型的有益效果是：

借助氮化硅盖板、绝缘陶瓷和筒体在电极外部形成密闭空间，有效阻挡发热体本体的剥落物在电极处堆积，防止发生短路现象，保证氢化炉安全运行，同时，氮化硅盖板能够减少氢化炉内气流对筒体的冲刷及高温灼烧，延长筒体的使用寿命，此外，气流促使氮化硅盖板能够更加紧密的与筒体盖合，有效防止粉尘物进入到筒体中，避免氢化炉停车。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；