[发明专利]一种微机电系统及其制备方法

权利要求书

1.一种微机电系统MEMS装置，其特征在于，包括：第一固定梳齿，第二固定梳齿，支撑梁，活动平台和活动梳齿；其中：

所述第一固定梳齿和第二固定梳齿固定在基板上，所述第一固定梳齿和第二固定梳齿之间电学隔离；

所述支撑梁的两端固定在基板上，所述活动平台连接在支撑梁上；

所述活动梳齿连接在所述活动平台上，并与所述第一固定梳齿和第二固定梳齿形成三层梳齿结构。

2.如权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述MEMS装置包括两组三层梳齿结构，分别位于支撑梁的左侧和右侧。

3.如权利要求1或2所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一固定梳齿用于在其与所述活动梳齿间施加第一电势差，所述第二固定梳齿用于在其与所述活动梳齿间施加第二电势差。

4.如权利要求1-3任一项所述的MEMS装置，其特征在于，所述活动平台上镀有金属反射层或介质反射层。

5.如权利要求1-4任一项所述的MEMS装置，其特征在于，所述活动平台的形状为矩形、多边形、圆形，或椭圆形。

6.如权利要求1-5任一项所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一固定梳齿用于在其与所述活动梳齿间施加电势差，所述第二固定梳齿用于通过其与活动梳齿间的电容测量活动平台的旋转角度。

7.如权利要求1-6任一项所述的MEMS装置，其特征在于，所述支撑梁与基板之间电学隔离。

8.如权利要求7所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一固定梳齿和第二固定梳齿之间通过第一绝缘层电学隔离，所述支撑梁与基板之间通过第二绝缘层电学隔离，所述第一绝缘层与第二绝缘层位于同一平面。

9.如权利要求1-8任一项所述的MEMS装置，其特征在于，所述活动梳齿连接在活动平台中与支撑梁垂直的边上。

10.如权利要求1-9任一项所述的MEMS装置，其特征在于，所述MEMS装置包括两组三层梳齿结构，位于所述支撑梁的同一侧，所述两组三层梳齿结构分别用于控制所述活动平台。

11.如权利要求10所述的MEMS装置，其特征在于，所述两组三层梳齿结构中的一组用于施加电势差驱动活动平台，另一组用于测量活动平台的旋转角度。

12.一种二维微机电系统MEMS装置，其特征在于，包括如权利要求1-11任一项所述的第一MEMS装置和第二MEMS装置，其中：

第一MEMS装置的活动平台作为固定第二MEMS装置的基板；

第一MEMS装置的支撑梁与第二MEMS装置的支撑梁相互垂直。

13.一种微机电系统MEMS装置阵列，其特征在于，包括多个如权利要求1-12任一项所述的MEMS装置，其中，所述多个MEMS装置呈一维分布或二维分布。

14.如权利要求1-12任一项所述的MEMS装置，其特征在于，还包括基板、管壳、光窗、以及控制电路；其中：

所述基板用于固定所述第一固定梳齿和第二固定梳齿，以及固定支撑梁两端；

所述管壳安装在基板上，用于保护所述MEMS装置；

所述光窗安装在管壳顶部，用于光线的入出；

所述控制电路用于控制所述活动平台转动。