[发明专利]晶圆湿制程设备用恒温加热槽

说明书

本发明公开了一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，包括电镀用槽体以及循环加热机构，所述电镀用槽体外四周设有加热外槽，所述电镀用槽体与所述加热外槽之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构连通于所述电镀用槽体，所述加热外槽由外界向所述水浴加热空间内通入加热水，所述加热水的温度高于所述电镀用槽体内药液的温度。本发明所提供的晶圆湿制程设备用恒温加热槽，其结构简明，方便操作，通过在现有的电镀用槽体外加设加热外槽，以形成水浴加热形式，可全方位地对电镀用槽体内的药液进行加热。

技术领域

本发明涉及一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽。

背景技术

目前，用于电镀槽内药液加热的现有做法有：a.通过加热棒对电镀用槽体(或清洗槽) 内进行药液加热；b.也有通过外接管道/路对电镀用槽体(或清洗槽)在线药液加热；c.再有就是通过热水包围电镀用槽体(或清洗槽)来进行药液加热，或称水浴加热。

对于a方式，存在加热不均匀，可能影响药液效果的缺陷；对于b方式，其加热效果没有c方式来的速度，且外接管路布设较为繁琐；

而对于(水域加热)c方式，被较少应用，通常，应用于清洗的药水可能达到80℃高温，就需要外部包围的水温度更高，这就需要更大的压力来维持，需要更高强度的槽体来实现。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽。

为实现以上目的，通过以下技术方案实现：

一种晶圆湿制程设备用恒温加热槽，包括电镀用槽体以及循环加热机构，所述电镀用槽体外四周设有加热外槽，所述电镀用槽体与所述加热外槽之间相互间隔以形成水浴加热空间，所述循环加热机构连通于所述电镀用槽体，所述加热外槽由外界向所述水浴加热空间内通入加热水，所述加热水的温度高于所述电镀用槽体内药液的温度。

优选地，所述加热外槽与所述电镀用槽体相互隔断，所述加热外槽的侧壁上设有外接进水口以及外接出水口以供与外界供水加热装置连通。

优选地，所述电镀用槽体的外壁与所述加热外槽的内壁之间设有加强支撑结构。

优选地，所述加强支撑结构包括均匀排布于所述电镀用槽体侧壁及底面的多个加强肋。

优选地，所述加强支撑结构包括透水加强板，所述透水加强板围设于所述所述加强肋外，所述外接进水口以及所述外接出水口分别通过管路穿过所述加热外槽并连通于所述透水加强板，所述透水加强板上开设有多个均匀排布的透水孔以供与所述加热外槽连通。

优选地，所述电镀用槽体的外壁上沿围设有外缘盖体，所述外缘盖体与所述电镀用槽体的外壁之间设有所述加强肋。

优选地，所述电镀用槽体与所述外缘盖体的顶面封闭连接，所述加热外槽的顶端封闭连接于所述外缘盖体的底面。

优选地，所述电镀用槽体的顶部敞开且设有可活动打开的盖板机构。

优选地，所述盖板机构包括安装框，所述外缘盖体的顶部敞开，所述安装框安装于所述外缘盖体上，所述安装框上设有通过铰链结构或连杆结构自动打开的多个盖板。

优选地，所述铰链结构或所述连杆结构上安装有机械手并通过所述机械手进行自动转动进而控制所述盖板的启闭。

优选地，所述电镀用槽体上分别设有进液口以及出液口，所述电镀用槽体的内部设有隔板进而形成相互连通的进液内腔以及出液内腔，所述进液口连通于所述进液内腔，所述出液口连通于所述出液内腔。

优选地，所述循环加热机构通过连接管分别连通于所述进液口以及所述出液口，所述循环加热机构包括相互连通的加热泵以及过滤器，所述加热泵连通于所述出液口，所述过滤器连通于所述进液口。

本发明晶圆湿制程设备用恒温加热槽的有益效果包括：