[发明专利]发光二极管的转移方法及转移装置在审
| 申请号： | 201911301477.2 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111063650A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 孙洋 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67;H01L27/15 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 发光二极管 转移 方法 装置 | ||
1.一种发光二极管的转移方法，其特征在于，包括如下步骤：
S100：提供转移基板，并在所述转移基板上设置粘接层；
S101：在所述转移基板上设置光罩，并对所述转移基板进行光照，形成转移模块；
S102：提供临时基板，所述临时基板上放置有多个发光二极管，所述临时基板上的所述发光二极管为待转移发光二极管；
S103：将所述转移模块与所述待转移发光二极管对组，使多个所述转移模块与多个所述待转移发光二极管一一对应接合；
S104：移动所述转移基板，并将所述待转移发光二极管转移到目标基板上。
2.根据权利要求1所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，所述步骤S100中，在所述转移基板上设置对位标记，将所述粘接层与所述对位标记相互对应。
3.根据权利要求1所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，每个所述转移模块的表面积不小于所述发光二极管的表面积。
4.根据权利要求1所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，所述粘接层材料包括光致解粘材料。
5.根据权利要求4所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，所述粘接层通过印刷、溅渡、涂覆、贴合或多种方式混合的方式形成。
6.根据权利要求1所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，所述光罩的排列方式与所述目标基板上像素的排列方式相同，所述光罩与所述像素一一对应。
7.根据权利要求1所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，所述目标基板还包括对应像素的导电粘合层，所述导电粘合层与所述发光二极管之间的结合力大于所述解粘后的转移模块与所述发光二极管之间的结合力。
8.一种转移装置，其特征在于，包括：
转移基板；以及
转移模块，所述转移模块设置在所述转移基板上，所述转移模块与目标基板上的发光二极管一一对应。
9.根据权利要求8所述的转移装置，其特征在于，所述转移模块包括转移粘接单元，所述转移粘接单元包括粘接层，所述粘接层吸附所述发光二极管。
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