[发明专利]一种可拉伸晶体管及其制备方法

权利要求书

1.一种可拉伸晶体管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将柔性衬底加热后，在其上加工金属电极，然后冷却获得可拉伸的覆有电极的衬底；

(2)采用化学气相沉积法制备得到生长在铜箔上的石墨烯，保留原生长在所述铜箔背面的石墨烯，刻蚀掉所述铜箔，制得石墨烯卷，将多层所述石墨烯卷转移并叠放至步骤(1)所得衬底上，作为半导体层；

(3)构建所述可拉伸晶体管。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，所述柔性衬底为聚二甲基硅氧烷。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)具体包括：将固化后的所述柔性衬底在125～135℃下加热5～8小时，随后在其上蒸镀所述金属电极，自然冷却至室温。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)具体包括：采用化学气相沉积法制备得到生长在铜箔上的石墨烯，然后将所述石墨烯上表面涂覆聚甲基丙烯酸甲酯，再将所得产物投入刻蚀溶液中，待铜箔全部被刻蚀后取出，转移至步骤(1)所得衬底上，随后用丙酮去除聚甲基丙烯酸甲酯，重复上述步骤多次。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，重复次数为3次，直至转移三层所述石墨烯卷。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)还包括制备离子凝胶栅极双电层，其中离子凝胶液体由离子液体、单体和光引发剂组成，所述离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑-双(三氟甲基磺酸基)咪唑，所述单体为聚乙二醇双丙烯酸酯单体和2-羟基-2甲基丙苯酮，所述光引发剂为2-甲基丙苯酮。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述离子液体、单体和光引发剂的质量比为(88-91):(7.5-9.5):(1.5-2.5)。

8.一种可拉伸晶体管，其特征在于，由权利要求1～7任一项所述的制备方法制备得到。

9.根据权利要求8所述的可拉伸晶体管，其特征在于，包括可拉伸的覆有电极的衬底、半导体层和离子凝胶的栅极，所述半导体层由多层所述石墨烯卷构成，设置在所述可拉伸的覆有电极的衬底上。