[发明专利]一种面向PoP三维封装的垂直互连结构及制作方法在审

专利信息
申请号: 201911241982.2 申请日: 2019-12-06
公开(公告)号: CN111063674A 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 杨静;王波;刘勇;彭超;刘明;闵志先 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
主分类号: H01L25/07 分类号: H01L25/07;H01L25/00;H01L23/48;H01L23/488
代理公司: 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 代理人: 张景云
地址: 230000 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 面向 pop 三维 封装 垂直 互连 结构 制作方法
【权利要求书】:

1.一种面向PoP三维封装的垂直互连结构,其特征在于,包括顶层模块(1)、底部模块(2)、第一BGA焊球(3),所述顶层模块(1)与底部模块(2)通过第一BGA焊球(3)固定相连;其中,所述底部模块(2)包括第二基板(201)、第二塑封材料(202)、第二芯片(203)、第二引线(204)及金属柱(205),所述第二基板(201)的顶部设置有第二焊盘,所述第二焊盘的顶部上设置有第二芯片(203),所述第二芯片(203)的两端经过第二基板(201)与第二焊盘键合相连;

所述第二基板(201)的顶部于第二芯片(203)的两端设置有若干个通过锡膏连接的金属柱(205),所述第二基板(201)的顶部还设置有与金属柱(205)高度相平齐的第二塑封材料(202),同时金属柱(205)的顶部与第一BGA焊球(3)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连结构,其特征在于,所述金属柱(205)可以是铜基、镍基合金,或表面镀有UBM层的金属柱。

3.根据权利要求1所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连结构,其特征在于,所述顶层模块(1)包括第一基板(101)、第一塑封材料(102)、第一引线(103)及第一芯片(104),所述第一基板(101)的顶部设置第一焊盘,所述第一焊盘的顶部设置有粘贴连接的第一芯片(104),所述第一芯片(104)的两端通过第一引线(103)与第一焊盘键合相连,所述第一基板(101)的顶部与第一BGA焊球(3)的焊接。

4.根据权利要求1-3任意所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连结构,其特征在于,还包括第二BGA焊球(4),所述底部模块(2)的底部还焊接有第二BGA焊球(4),通过第二BGA焊球(4)与电路板电性连接。

5.一种基于权利要求1-4任一所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连结构的制作方法,其特征在于,步骤如下:

S1、首先制作底层模块(2);

S2、制作顶层模块(1);

S3、顶层模块(1)与底层模块(2)之间通过第一BGA焊球(3)相连;同时在底层模块(2)的底部还设置若干个第二BGA焊球(4)。

6.根据权利要求5所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连结构制作方法,其特征在于,所述步骤S1包括;

S11、封装第二基板(201)上印刷若干个锡膏;

S12、在锡膏印刷后的第二基板(201)上安装工装,所述工装为“凹”字形,所述工装的横向部分开设有若干个与锡膏位置相对应的通孔,通过通孔对金属柱(205)定位,然后将焊接金属柱(205)插入通孔并与锡膏位置相贴合,进行焊接;

S13、焊接完成后,移去工装;

S14、清洗、贴片和引线键合;

第二基板(201)上安装第一焊盘,使用点胶机在第一焊盘进行点胶,然后启动芯片拾取设备,将芯片(203)贴装于第一焊盘上,再放入烘箱进行烘烤,胶水固化后取出;然后将第二基板(201)表面清洗;最后通过引线键合方法,将芯片(203)的I/O端口与第二基板(201)上的第一焊盘通过引线(204)进行键合;

S15、塑封;

通过塑封设备,对金属柱(205)和芯片的第一基板(101)进行塑封;

S16、将塑封磨削减薄,露出金属柱(205)顶端;

所述减薄处理为粗磨和精磨工艺。

7.根据权利要求6所述的一种面向PoP三维封装的垂直结构制作方法,其特征在于,步骤S13中,所述焊接方法为回流焊接。

8.根据权利要求6所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连方法,其特征在于,所述塑封材料为环氧塑封料。

9.根据权利要求6所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连方法,其特征在于,塑封后的第二塑封材料(202)高度要高于金属柱高度100um以上。

10.根据权利要求6所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连方法,其特征在于,制作顶层模块(1)的步骤依次为清洗、贴片和引线键合、塑封。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第三十八研究所,未经中国电子科技集团公司第三十八研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911241982.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top