[发明专利]一种面向PoP三维封装的垂直互连结构及制作方法在审
| 申请号: | 201911241982.2 | 申请日: | 2019-12-06 |
| 公开(公告)号: | CN111063674A | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
| 发明(设计)人: | 杨静;王波;刘勇;彭超;刘明;闵志先 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L25/00;H01L23/48;H01L23/488 |
| 代理公司: | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人: | 张景云 |
| 地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 面向 pop 三维 封装 垂直 互连 结构 制作方法 | ||
1.一种面向PoP三维封装的垂直互连结构,其特征在于,包括顶层模块(1)、底部模块(2)、第一BGA焊球(3),所述顶层模块(1)与底部模块(2)通过第一BGA焊球(3)固定相连;其中,所述底部模块(2)包括第二基板(201)、第二塑封材料(202)、第二芯片(203)、第二引线(204)及金属柱(205),所述第二基板(201)的顶部设置有第二焊盘,所述第二焊盘的顶部上设置有第二芯片(203),所述第二芯片(203)的两端经过第二基板(201)与第二焊盘键合相连;
所述第二基板(201)的顶部于第二芯片(203)的两端设置有若干个通过锡膏连接的金属柱(205),所述第二基板(201)的顶部还设置有与金属柱(205)高度相平齐的第二塑封材料(202),同时金属柱(205)的顶部与第一BGA焊球(3)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连结构,其特征在于,所述金属柱(205)可以是铜基、镍基合金,或表面镀有UBM层的金属柱。
3.根据权利要求1所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连结构,其特征在于,所述顶层模块(1)包括第一基板(101)、第一塑封材料(102)、第一引线(103)及第一芯片(104),所述第一基板(101)的顶部设置第一焊盘,所述第一焊盘的顶部设置有粘贴连接的第一芯片(104),所述第一芯片(104)的两端通过第一引线(103)与第一焊盘键合相连,所述第一基板(101)的顶部与第一BGA焊球(3)的焊接。
4.根据权利要求1-3任意所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连结构,其特征在于,还包括第二BGA焊球(4),所述底部模块(2)的底部还焊接有第二BGA焊球(4),通过第二BGA焊球(4)与电路板电性连接。
5.一种基于权利要求1-4任一所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连结构的制作方法,其特征在于,步骤如下:
S1、首先制作底层模块(2);
S2、制作顶层模块(1);
S3、顶层模块(1)与底层模块(2)之间通过第一BGA焊球(3)相连;同时在底层模块(2)的底部还设置若干个第二BGA焊球(4)。
6.根据权利要求5所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连结构制作方法,其特征在于,所述步骤S1包括;
S11、封装第二基板(201)上印刷若干个锡膏;
S12、在锡膏印刷后的第二基板(201)上安装工装,所述工装为“凹”字形,所述工装的横向部分开设有若干个与锡膏位置相对应的通孔,通过通孔对金属柱(205)定位,然后将焊接金属柱(205)插入通孔并与锡膏位置相贴合,进行焊接;
S13、焊接完成后,移去工装;
S14、清洗、贴片和引线键合;
第二基板(201)上安装第一焊盘,使用点胶机在第一焊盘进行点胶,然后启动芯片拾取设备,将芯片(203)贴装于第一焊盘上,再放入烘箱进行烘烤,胶水固化后取出;然后将第二基板(201)表面清洗;最后通过引线键合方法,将芯片(203)的I/O端口与第二基板(201)上的第一焊盘通过引线(204)进行键合;
S15、塑封;
通过塑封设备,对金属柱(205)和芯片的第一基板(101)进行塑封;
S16、将塑封磨削减薄,露出金属柱(205)顶端;
所述减薄处理为粗磨和精磨工艺。
7.根据权利要求6所述的一种面向PoP三维封装的垂直结构制作方法,其特征在于,步骤S13中,所述焊接方法为回流焊接。
8.根据权利要求6所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连方法,其特征在于,所述塑封材料为环氧塑封料。
9.根据权利要求6所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连方法,其特征在于,塑封后的第二塑封材料(202)高度要高于金属柱高度100um以上。
10.根据权利要求6所述的一种面向PoP三维封装的垂直互连方法,其特征在于,制作顶层模块(1)的步骤依次为清洗、贴片和引线键合、塑封。
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