[发明专利]一种PECVD设备的氮气辅助加热方法及装置

说明书

本发明公开了一种PECVD设备的氮气辅助加热方法，包括：S01、在往工艺腔体内通入氮气前，检测工艺腔体内的温度；S02、根据工艺腔体内的温度值确定是否对氮气进行加热；在温度未达到设定值时，对氮气进行加热后再通入至工艺腔体内，以提高工艺腔体内的温度。本发明还公开了一种氮气辅助加热装置，包括氮气加热器和主管道，主管道上设置有主开关和直通开关，氮气加热器的进气口与直通开关的输入端相连，氮气加热器的出气口与直通开关的输出端相连；氮气加热器的出气口设置有氮气温度检测件，氮气加热器根据工艺腔体内温度与氮气温度检测件检测的氮气温度之间的偏差调整加热功率。本发明的方法及装置均具有加热效率高等优点。

技术领域

本发明主要涉及PECVD设备技术领域，特指一种PECVD设备的氮气辅助加热方法及装置。

背景技术

PECVD设备是光伏电池镀减反射膜的主要设备，其工作原理是在一定温度(如450℃-500℃)和一定气压条件下，利用等离子体增强气象化学沉积法进行减反射膜淀积。PECVD设备的加热装置(如电加热炉)，每次升温至设定值所需时间就需要13-15分钟左右，占总工艺时间比重约为40-50％，升温时间严重制约了设备的生产效率。如图1所示，常规的加热装置是一个中空的圆柱形电加热炉，炉内壁缠绕电热丝，内部填充保温棉，外壁为不锈钢圆筒。工艺腔体安装在加热炉中空部分，并靠近电热丝。在工艺开始回温前，会通过干泵将工艺腔体内抽空，再采用电热炉直接对工艺腔体进行加热。由于在真空状态时，无法产生热传递和热对流，仅可通过加热丝的热辐射对腔体加热，导致热能损耗过大，加热时间过长，生产效率低。

发明内容

本发明要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本发明提供一种加热效率高的PECVD设备的氮气辅助加热方法及装置。

为解决上述技术问题，本发明提出的技术方案为：

一种PECVD设备的氮气辅助加热方法，包括以下步骤：

S01、在PECVD设备淀积工艺前的回温时，在往PECVD设备的工艺腔体内通入氮气前，检测所述工艺腔体内的温度；

S02、根据步骤S01检测到的工艺腔体内的温度值确定是否对氮气进行加热；在工艺腔体内的温度未达到设定值时，对氮气进行加热后，再通入至工艺腔体内，以提高工艺腔体内的温度。

作为上述技术方案的进一步改进：

在步骤S02中，实时检测加热后的氮气温度，并与工艺腔体内的温度相综合，以确定氮气加热的功率。

在步骤S02中，在工艺腔体内的温度达到设定值时，直接将氮气通入至工艺腔体内而不需要进行加热。

本发明还公开了一种PECVD设备的氮气辅助加热装置，包括氮气加热器和主管道，所述主管道沿氮气输送方向上依次设置有主开关和直通开关，所述氮气加热器的进气口通过进气管与所述直通开关的输入端相连，所述氮气加热器的出气口通过出气管与所述直通开关的输出端相连；所述氮气加热器的出气口设置有氮气温度检测件，所述氮气加热器根据所述PECVD设备的工艺腔体内温度与氮气温度检测件检测的氮气温度之间的偏差调整加热功率。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述进气管上设置有进气开关，所述出气管上设置有出气开关。

所述主开关包括主手动开关和主气动开关；所述进气开关和直通开关均为气动开关，所述出气开关为出气电磁阀；各气动开关对应同一压缩气源，压缩气源通过对应的支路与各气动开关相连。

所述压缩气源通过第一支路与所述主气动开关相连，所述第一支路上设置有第一电磁阀；所述压缩气源通过第二支路与所述进气开关相连，所述第二支路上设置有第二电磁阀；所述压缩气源通过第三支路与所述直通开关相连，所述第三支路上设置有第三电磁阀；所述第二电磁阀和所述出气电磁阀之间联动，且与第三电磁阀之间互锁。