[发明专利]一种高效二极管制备酸洗装置有效
申请号: | 201911166069.0 | 申请日: | 2019-11-25 |
公开(公告)号: | CN111048446B | 公开(公告)日: | 2022-09-30 |
发明(设计)人: | 孙慰 | 申请(专利权)人: | 东台市高科技术创业园有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 合肥左心专利代理事务所(普通合伙) 34152 | 代理人: | 姜玲玲 |
地址: | 224000 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 二极管 制备 酸洗 装置 | ||
1.一种高效二极管制备酸洗装置,包括外箱体(1)、滑行平台(12)、进液管(13)、进水口(17)、出水口(18)和酸液排出口(20),所述外箱体(1)的背面与滑行平台(12)的正面固定连接,所述进液管(13)固定安装在外箱体(1)与振动箱体(2)的右上角处,所述酸液排出口(20)开设在振动箱体(2)的右下角,所述进水口(17)位于外箱体(1)底部的左侧,所述出水口(18)位于外箱体(1)底部的右侧,其特征在于:所述外箱体(1)内腔的顶部固定安装有振动箱体(2),且两者具有相同的圆心,所述外箱体(1)的顶部活动套接有密封盖(3),所述密封盖(3)的底面固定连有酸洗固定架(4),所述振动箱体(2)的左侧外壁上固定连接有振动器(5),且穿过外箱体(1)并与外箱体(1)的外侧固定连接,所述酸洗固定架(4)的底部固定卡接有酸洗盘(6),所述密封盖(3)上表面的正中心固定连接有提升杆(7),且提升杆(7)为L型,所述提升杆(7)的一端固定连接有气动伸缩杆(9),所述滑行平台(12)上活动卡接有滑行板(10),所述滑行板(10)的上表面与气动伸缩杆(9)的底面固定连接,所述滑行板(10)的上表面且位于气动伸缩杆(9)的右侧固定安装有固定面板(8),所述固定面板(8)上开设有条形槽,且提升杆(7)从条形槽中穿过,所述滑行平台(12)上且位于滑行板(10)的正下方活动套接有丝杠(11),所述滑行板(10)的底部开设有螺纹孔且与丝杠(11)螺纹连接,所述丝杠(11)的左端固定连接有伺服电机(21),所述进液管(13)的顶端固定连接有酸液储存罐(14),所述进液管(13)上固定安装有耐腐蚀排液阀(15),所述进液管(13)上且位于酸液储存罐(14)和耐腐蚀排液阀(15)之间固定套装有加热管(19),所述振动箱体(2)内腔的底部固定安装有冷却水管(16);
所述酸洗固定架(4)包括四方架(41)和平行卡槽(42),所述四方架(41)由四根竖直杆和八根平行杆组成,所述平行卡槽(42)均匀固定安装在四方架(41)的两侧上,且两两之间间距相等,所述酸洗盘(6)包括盘体(61)和卡栓(62),所述盘体(61)四周壁上的上半部分及底面开设有均匀通孔,所述盘体(61)的正面与背面固定安装有把手,所述盘体(61)正面的两侧开设有L型槽,所述L型槽中活动卡接有卡栓(62),所述酸洗固定架(4)正面两根竖直杆上开设有均匀的卡孔,且可与卡栓(62)相配合。
2.根据权利要求1所述的一种高效二极管制备酸洗装置,其特征在于:所述冷却水管(16)可分为两个部分,其一位于振动箱体(2)中为硬质螺旋水管,其二与外界连通为软质水管,并且两者在外箱体(1)与振动箱体(2)之间连接。
3.根据权利要求1所述的一种高效二极管制备酸洗装置,其特征在于:所述进液管(13)与水平面呈45度角,所述出水口(18)与加热管(19)的底端固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种高效二极管制备酸洗装置,其特征在于:所述固定面板(8)上的条形槽最低处与提升杆(7)所需要到达的最低高度相同,且其宽度与提升杆(7)的直径相同。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造