[发明专利]热处理装置和热处理方法

权利要求书

1.一种热处理装置，其特征在于，包括：

收纳基片的处理容器；

设置于所述处理容器的周围的加热装置；

对所述处理容器与所述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；和

开闭件，其同时开闭所述多个吹出装置的至少2个以上，与各所述吹出装置对应地形成有隙缝。

2.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于：

还包括对所述多个吹出装置供给冷却流体的流体流路，

所述开闭件设置于所述流体流路。

3.如权利要求2所述的热处理装置，其特征在于：

所述吹出装置包括：

与所述流体流路连通的支流部；和

吹出孔，其贯通所述加热装置，一端与所述支流部连通，另一端与所述空间连通，

在所述支流部设置有蝶阀。

4.如权利要求2或者3所述的热处理装置，其特征在于：

包括送风机，其设置于所述流体流路，对所述多个吹出装置送入所述冷却流体。

5.如权利要求2至4中任一项所述的热处理装置，其特征在于，包括：

排热部，其一端在比所述多个吹出装置靠上方处与所述空间连通，另一端与所述流体流路连通，将所述空间内的冷却流体排出；和

热交换器，其设置于所述流体流路，将由所述排热部排出的冷却流体冷却。

6.如权利要求1至5中任一项所述的热处理装置，其特征在于，：

包括驱动部，其使所述开闭件在覆盖所述多个吹出装置的关闭位置与离开所述多个吹出装置的打开位置之间移动。

7.如权利要求6所述的热处理装置，其特征在于，包括：

检测所述处理容器内或者所述空间的温度的温度检测装置；以及

切换小流量模式和大流量模式的控制部，

其中，所述小流量模式在使所述开闭件移动到关闭位置的状态下基于所述温度来控制所述加热装置，所述大流量模式在使所述开闭件移动到打开位置的状态下基于所述温度来控制所述加热装置。

8.如权利要求7所述的热处理装置，其特征在于：

包括所述控制部，其在所述处理容器内在低温下处理基片的情况和对所述处理容器内高速地进行冷却的情况的至少任一情况下，切换至所述大流量模式。

9.如权利要求1至8中任一项所述的热处理装置，其特征在于，包括：

所述处理容器是竖长的，

所述多个吹出装置沿所述处理容器的长边方向设置。

10.一种热处理装置中的热处理方法，其特征在于：

所述热处理装置包括：

设置于收纳基片的处理容器的周围的加热装置；

对所述处理容器与所述加热装置之间的空间吹出冷却流体的多个吹出装置；和

开闭件，其同时开闭所述多个吹出装置的至少2个以上，与各所述吹出装置对应地形成有隙缝，

所述热处理方法根据在所述热处理装置中执行的处理，切换小流量模式和大流量模式，

其中，所述小流量模式在使所述开闭件移动到关闭位置的状态下基于所述处理容器内或者所述空间的温度来控制所述加热装置，所述大流量模式在使所述开闭件移动到打开位置的状态下基于所述处理容器内或者所述空间的温度来控制所述加热装置。