[发明专利]一种集成芯片封装方法有效
申请号: | 201911084579.3 | 申请日: | 2019-11-07 |
公开(公告)号: | CN110797269B | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 林明秀;刘胜忠;刘丁宁 | 申请(专利权)人: | 温州胜泰智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 北京祺和祺知识产权代理有限公司 11501 | 代理人: | 陈翔 |
地址: | 325000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成 芯片 封装 方法 | ||
1.一种集成芯片封装方法,其特征在于,包括
将引线框架(1)塑封成具有半开放封装(2)的塑胶焊线支架;
将晶圆固定在半开放封装(2)的基板(3)上;
通过导电线将晶圆与基板(3)或另一晶圆电连接;
向半开放封装(2)灌注密封胶;
所述半开放封装(2)可拆卸的塑封在引线框架(1)上,所述引线框架(1)包括外边框(11)、多个横条(12)和多个竖条(13),所述横条(12)与竖条(13)交错构成多个用于设置半开放封装(2)的阵列空间;所述横条(12)位于两个相邻的半开放封装(2)之间,所述半开放封装(2)的两端均可拆卸连接在横条(12)上或者一端可拆卸连接在横条(12)上另一端可拆卸连接在外边框(11)上;
所述半开放封装(2)卡接在两个横条(12)之间或者横条(12)与外边框(11)之间。
2.根据权利要求1所述的集成芯片封装方法,其特征在于,所述半开放封装(2)的开放口(21)呈圆形或方形或椭圆形,且半开放封装(2)的基板(3)通过开放口(21)裸露。
3.根据权利要求1或2所述的集成芯片封装方法,其特征在于,所述基板(3)由多个引出脚(31)构成,所述晶圆固定在引出脚(31)上。
4.根据权利要求1所述的集成芯片封装方法,其特征在于,所述横条(12)上沿其长度方向开设有用于提供形变空间的镂空槽(121)。
5.根据权利要求1所述的集成芯片封装方法,其特征在于,所述半开放封装(2)的开放口(21)呈圆台状,该圆台的面积较小的一端面向基板(3)。
6.根据权利要求5所述的集成芯片封装方法,其特征在于,所述半开放封装(2)的开放口(21)的开口处具有密封口(22),所述密封口(22)和开放口(21)构成台阶结构,所述密封口(22)的一端与开放口(21)连通,另一端与外部连通。
7.根据权利要求2所述的集成芯片封装方法,其特征在于,所述半开放封装(2)内设有用于分隔基板(3)的挡板(4)。
8.根据权利要求7所述的集成芯片封装方法,其特征在于,所述挡板(4)高度与开放口(21)高度平齐。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造