[发明专利]加热装置及化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种加热装置，包括：

承载台，具有公转轴；

多个载盘，设置于所述承载台上，其中所述承载台带动所述多个载盘以所述公转轴为中心而公转；

第一加热器，设置于所述承载台下，其中所述第一加热器在所述公转轴的径向上具有第一宽度；以及

第二加热器，设置于所述承载台下，所述第二加热器与所述第一加热器彼此分离开来，其中所述第二加热器在所述公转轴的径向上具有第二宽度，且所述第一宽度不等于所述第二宽度。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其中所述载盘具有载盘直径且所述第一宽度与所述载盘直径的比值大于0.5且小于1。

3.根据权利要求1所述的加热装置，其中所述第一加热器具有第一温度，所述第二加热器具有第二温度，且所述第一温度不等于所述第二温度。

4.根据权利要求1所述的加热装置，还包括：

第三加热器，设置于所述承载台下，所述第三加热器、所述第二加热器与所述第一加热器彼此分离开来，其中所述第三加热器在所述公转轴的径向上具有第三宽度，且所述第三宽度不等于所述第一宽度与所述第二宽度。

5.根据权利要求1所述的加热装置，其中各所述载盘于所述承载台上的垂直投影部分重叠于所述第一加热器在所述承载台上的垂直投影，且所述第一加热器于所述载盘上的垂直投影面积与所述载盘的表面积的比值大于等于0.4且小于等于0.9。

6.根据权利要求1所述的加热装置，其中各所述载盘的对称中心重叠于所述第一加热器在所述多个载盘上的垂直投影。

7.根据权利要求1所述的加热装置，其中所述多个载盘与所述承载台之间在所述公转轴的轴向上分别具有间隙。

8.根据权利要求7所述的加热装置，其中所述多个载盘的第一载盘与所述承载台之间在所述公转轴的轴向上具有第一间距，所述多个载盘的第二载盘与所述承载台之间在所述公转轴的轴向上具有第二间距，且所述第一间距不等于所述第二间距。

9.一种化学气相沉积系统，包括：

腔室；

加热装置，设置于所述腔室内，所述加热装置包括：

承载台，具有公转轴；

多个载盘，设置于所述承载台上，其中所述承载台带动所述多个载盘以所述公转轴为中心而公转；

第一加热器，设置于所述承载台下，其中所述第一加热器在所述公转轴的径向上具有第一宽度；以及

第二加热器，设置于所述承载台下，所述第二加热器与所述第一加热器彼此分离开来，其中所述第二加热器在所述公转轴的径向上具有第二宽度，且所述第一宽度不等于所述第二宽度；

旋转驱动机构，连接所述承载台并带动所述承载台旋转；以及

进气单元，设置于所述腔室内并位于所述承载台上方。

10.根据权利要求9所述的化学气相沉积系统，其中所述载盘具有载盘直径，且所述第一宽度与所述载盘直径的比值大于0.5且小于1。

11.根据权利要求9所述的化学气相沉积系统，其中所述第一加热器具有第一温度，所述第二加热器具有第二温度，且所述第一温度不等于所述第二温度。

12.根据权利要求9所述的化学气相沉积系统，其中各所述载盘于所述承载台上的垂直投影部分重叠于所述第一加热器在所述承载台上的垂直投影，且所述第一加热器于所述载盘上的垂直投影面积与所述载盘的表面积的比值大于等于0.4且小于等于0.9。

13.根据权利要求9所述的化学气相沉积系统，其中各所述载盘的对称中心重叠于所述第一加热器在所述多个载盘上的垂直投影。