[发明专利]基板输送装置和基板输送方法

说明书

本发明提供用于以较高的输送可靠性一并输送多张基板的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置包括：基座；保持部；至少3个检测部；以及控制部。保持部以相对于基座进退自如的方式设置且能够多层地保持多张基板。检测部用于分别在不同的位置对由保持部保持着的基板的外缘进行检测。控制部根据检测部的检测结果来推断基板的位置，并对推断出的基板的位置与预先决定的基准位置之间的偏离量进行计算，在判断为计算出的偏离量在阈值以内的情况下，执行由保持部保持着的多张基板的输送。

本申请是申请号为201510981164.1、申请日为2015年12月23日、发明名称为“基板输送装置和基板输送方法”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及基板输送装置和基板输送方法。

背景技术

以往，作为用于输送半导体晶圆、玻璃基板等基板的基板输送装置，公知有一种包括能够绕铅垂轴线旋转的基座和以相对于该基座进退自如的方式设置的叉的基板输送装置。

在这种基板输送装置中，存在设有用于对由叉保持着的基板有无错位进行判断的传感器的基板输送装置。例如，在专利文献1中，公开了如下基板输送装置，在该基板输送装置中，在叉的顶端部设有1个光电传感器，基于该光电传感器的检测结果来判断基板有无错位。

专利文献1：日本特开平8－274143号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在将所述以往技术应用于能够多层地保持多张基板的基板输送装置的情况下，由于存在多张基板分别向不同的方向偏离的可能性，因此有可能难以精度良好地判断有无错位。基板的有无错位的判断精度的降低有可能引起输送可靠性的降低。

本发明的目的在于，提供一种能够以较高的输送可靠性一并输送多张基板的基板输送装置和基板输送方法。

用于解决问题的方案

本发明的一技术方案的基板输送装置包括：基座；保持部；至少3个检测部；以及控制部。保持部以相对于基座进退自如的方式设置且能够上下多层地保持多张基板。至少设有3个的检测部配置于保持部的上方或下方，用于分别在不同的位置对由保持部保持着的多个基板的外缘进行检测。控制部根据至少设有3个的检测部所检测的多张基板的外缘的检测结果来计算假想的基板的位置，并对计算出的假想的基板的位置与预先决定的基准位置之间的偏离量进行计算，并进行判断计算出的偏离量是否在阈值以内的错位判断处理，在错位判断处理中判断为偏离量在阈值以内的情况下，执行由保持部保持着的多张基板的输送。

发明的效果

采用本发明，能够以较高的输送可靠性一并输送多张基板。

附图说明

图1是表示本实施方式的基板处理系统的概略结构的图。

图2是表示处理单元的概略结构的图。

图3是本实施方式的基板输送装置的立体图。

图4是本实施方式的基板输送装置的俯视图。

图5是光投射部和光接收部的示意性侧视图。

图6是第1判断处理的说明图。

图7是第2判断处理的说明图。

图8是第3判断处理的说明图。

图9是第3判断处理的说明图。

图10是第3判断处理的说明图。

图11是表示基板输送处理的处理步骤的流程图。