[发明专利]一种黑硅制备方法及太阳能电池有效
申请号: | 201910769412.4 | 申请日: | 2019-08-20 |
公开(公告)号: | CN110473929B | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 马玉超;李宏伟;单伟;何胜;徐伟智 | 申请(专利权)人: | 浙江正泰太阳能科技有限公司;海宁正泰新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/042 | 分类号: | H01L31/042;H01L31/18;C30B29/06;C30B33/10 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 田媛媛 |
地址: | 311305 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 方法 太阳能电池 | ||
1.一种黑硅制备方法,其特征在于,包括:
获取硅片;
利用预制催化剂胶体在所述硅片的上表面形成催化剂膜层,得到预处理硅片,所述预制催化剂胶体包括催化剂、助剂、氧化硅;所述预制催化剂胶体为溶液状胶体;
将所述预处理硅片置于酸溶液中使所述催化剂进入所述预处理硅片,得到黑硅;其中,所述氧化硅与所述酸溶液反应,以去除所述催化剂膜层并使所述催化剂均匀沉积在所述预处理硅片的表面。
2.如权利要求1所述的黑硅制备方法,其特征在于,所述利用预制催化剂胶体在所述硅片的上表面形成催化剂膜层包括:
利用旋涂方法将所述预制催化剂胶体在所述硅片的上表面形成所述催化剂膜层。
3.如权利要求2所述的黑硅制备方法,其特征在于,所述催化剂为下述任一种或者任意组合催化剂:
银离子、铜离子、铁离子。
4.如权利要求1至3任一项所述的黑硅制备方法,其特征在于,所述催化剂、所述氧化硅、所述助剂的质量比为0.8~1.2:100:200。
5.如权利要求1所述的黑硅制备方法,其特征在于,预处理硅片置于酸溶液中得到黑硅的过程包括两种方式,一种为:将所述预处理硅片置于硝酸和氢氟酸的酸溶液中,氧化硅溶于酸溶液中,去除所述催化剂膜层,所述催化剂均匀沉积在所述预处理硅片的表面;然后取出表面沉积有所述催化剂的所述预处理硅片,再将表面沉积有所述催化剂的所述预处理硅片置于硝酸和氢氟酸的酸溶液中,所述催化剂下方的硅被腐蚀从而在所述预处理硅片的表面形成凹槽,所述催化剂落入凹槽中,达到刻蚀预处理硅片的效果,制得黑硅;另一种方式为:将所述预处理硅片置于酸溶液中,所述催化剂沉积在所述预处理硅片的表面、所述预处理硅片的表面被腐蚀均在该酸溶液中进行。
6.一种太阳能电池,其特征在于,包括:
黑硅,且所述黑硅为如权利要求1至5任一项所述的黑硅制备方法得到;
位于所述黑硅的上表面的扩散层;
位于所述扩散层的上表面的隧穿层;
位于所述隧穿层的上表面的减反层;
位于所述减反层的上表面的正电极;
位于所述黑硅的下表面的钝化层;
位于所述钝化层的下表面的氮化硅层;
位于所述氮化硅层的下表面的背电极。
7.如权利要求6所述的太阳能电池,其特征在于,所述隧穿层的厚度取值范围为2纳米至4纳米,包括端点值。
8.如权利要求7所述的太阳能电池,其特征在于,所述钝化层的厚度取值范围为4纳米至15纳米,包括端点值。
9.如权利要求8所述的太阳能电池,其特征在于,所述氮化硅层的厚度取值范围为100纳米至150纳米,包括端点值。
10.如权利要求6至9任一项所述的太阳能电池,其特征在于,所述减反层的厚度取值范围为60纳米至90纳米,包括端点值。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江正泰太阳能科技有限公司;海宁正泰新能源科技有限公司,未经浙江正泰太阳能科技有限公司;海宁正泰新能源科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910769412.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的