[发明专利]台

说明书

提供台，该台对工件进行加热或冷却，能够从外观判别是否在台上产生温度变化。该台具有：包含供工件载置的载置面(300)的板体(30)；以及对板体(30)进行加热或冷却的调温单元(32)，在载置面(300)上涂布有涂料(36)，在未通过调温单元(32)对板体(30)进行加热或冷却的第1温度时，该涂料(36)在载置面(300)上呈第1颜色，并且在通过调温单元(32)使板体(30)的温度变化而使载置面(300)为与第1温度不同的第2温度时，该涂料(36)变色成与第1颜色不同的第2颜色。

技术领域

本发明涉及对工件进行加热或冷却的台。

背景技术

例如在半导体晶片等板状的工件的加工中，在对粘贴于工件的带或工件本身进行加热或冷却时大多使用台(热板或冷却台)(例如，参照专利文献1、2或3)。

专利文献1：日本特开2016-213318号公报

专利文献2：日本特开2015-003356号公报

专利文献3：日本特开2012-028541号公报

但是，难以从外观判别台是被加热、被冷却、还是常温，从而迫切希望得到改善。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供台，该台对工件进行加热或冷却，能够从外观判别台是否产生温度变化。

根据本发明，提供台，其对工件进行加热或冷却，其中，该台具有：板体，其包含供工件载置的载置面；以及调温单元，其对该板体进行加热或冷却，在该载置面上涂布有涂料，在未通过该调温单元对该板体进行加热或冷却的第1温度时，该涂料在该载置面上呈第1颜色，并且在通过该调温单元使该板体的温度变化而使该载置面为与该第1温度不同的第2温度时，该涂料变色成与该第1颜色不同的第2颜色。

优选本发明的台在通过所述调温单元使所述板体的温度变化而使所述载置面为与所述第1温度不同的所述第2温度时，通过所述涂料在该载置面上显现出所述第2颜色的文字。

优选台的所述载置面在与所述第1温度和所述第2温度不同的第3温度时，变色成与所述第1颜色和所述第2颜色不同的第3颜色。

对工件进行加热或冷却的本发明的台具有：板体，其包含供工件载置的载置面；以及调温单元，其对该板体进行加热或冷却，在载置面上涂布有涂料，在未通过调温单元对板体进行加热或冷却的第1温度时，该涂料在载置面上呈第1颜色，并且在通过调温单元使板体的温度变化而使载置面为与第1温度不同的第2温度时，该涂料变色成与第1颜色不同的第2颜色，因此能够从外观容易地判别板体是否被加热或是否被冷却。

另外，本发明的台在通过调温单元使板体的温度变化而使载置面为与第1温度不同的第2温度时，通过涂料在载置面上显现出与第1颜色不同的第2颜色的文字，从而能够从外观容易地判别板体是否被加热或是否被冷却。

本发明的台的载置面在与第1温度和第2温度不同的第3温度时，变色成与第1颜色和第2颜色不同的第3颜色，从而能够从外观目视判别板体的局部的温度变化。

附图说明

图1是示出对第1实施方式的台的板体进行加热前的状态(处于第1温度的状态)的剖视图。

图2是示出对第1实施方式的台的板体进行加热前的状态(处于第1温度的状态)的俯视图。

图3是示出对第1实施方式的台的板体进行了加热后的状态(处于第2温度的状态)的俯视图。

图4是示出对台的通过涂料写有文字的板体进行加热前的状态(处于第1温度的状态)的俯视图。

图5是示出对台的通过涂料写有文字的板体进行了加热后的状态(处于第2温度的状态)的俯视图。