[发明专利]一种亚分辨率辅助图形的修正方法及电子设备

权利要求书

1.一种亚分辨率辅助图形的修正方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、提供包括主图形和亚分辨率辅助图形的掩模版图；

S2、在所述主图形的周围形成一评价点放置区域并在所述评价点放置区域中按预设规则放置多个评价点，在所述主图形的周围形成一评价点放置区域包括如下步骤：

S21、设定一评价点放置区域形成的最小变量x1，以及一评价点放置区域形成的最大变量x2；

S22、将所述主图形扩大x1获得图形A,将所述主图形扩大x2获得图形B；及

S23、对所述图形A和所述图形B进行异或运算以获得所述评价点放置区域；

在所述评价点放置区域中放置多个评价点时的预设规则为：任意相邻的两个评价点的放置间距为10-40nm；

S3、将所述亚分辨率辅助图形的每条边与其最近邻的评价点关联形成与每条边对应的至少一个关联评价点；及

S4、通过光刻成像模型逐一计算每个关联评价点的强度，并判断每个关联评价点的强度是否超过设定的阈值，基于判定结果决定是否需要对亚分辨率辅助图形进行修正，当关联评价点的强度超过设定的阈值时，与所述关联评价点对应的亚分辨率辅助图形的边需要修正，直至所述亚分辨率辅助图形达到最小制作宽度或者所有关联评价点的强度均小于设定的阈值。

2.如权利要求1所述的亚分辨率辅助图形的修正方法，其特征在于：在上述步骤S4之后，当所述亚分辨率辅助图形达到最小制作宽度时，仍存在关联评价点超过设定的阈值时，所述亚分辨率辅助图形的修正方法进一步包括步骤：

S5、将所述亚分辨率辅助图形打断成多个尺寸较小的亚分辨率辅助图形块；

S6、将所述每个亚分辨率辅助图形块与其最邻近的评价点关联起来形成关联评价点；及

S7、通过光刻成像模型逐一计算每个关联评价点的强度，并判断每个关联评价点的强度是否超过设定的阈值，基于判定结果决定是否需要对亚分辨率辅助图形块进行修正。

3.如权利要求2所述的亚分辨率辅助图形的修正方法，其特征在于：在上述步骤S7中，当关联评价点的强度大于设定的阈值时，则将与该关联评价点对应的亚分辨率辅助图形块去除。

4.如权利要求1所述的亚分辨率辅助图形的修正方法，其特征在于：在上述步骤S4中，当所述关联评价点的强度超过设定的阈值时，计算与该关联评价点对应的修正值，基于修正值对亚分辨率辅助图形的边做收缩移动。

5.如权利要求4所述的亚分辨率辅助图形的修正方法，其特征在于：当多个评价点关联亚分辨辅助图形的同一条边时，每个关联评价点对应一个修正值，选取数值最大的修正值对所对应的亚分辨率辅助图形的边进行收缩移动。

6.如权利要求5所述的亚分辨率辅助图形的修正方法，其特征在于：所述修正值通过如下式子计算获得：

其中，SRAF_k为第k次迭代得到的其中一条亚分辨率辅助图形的边的位置，Intensity(SRAF_k)为关联该亚分辨率辅助图形的边的评价点高于阈值部分的强度值，Intensity_slope_k为关联评价点强度随该亚分辨率辅助图形的边移动的变化率，其计算公式如下：

最后得到的结果ΔSRAF_k+1即为该亚分辨率辅助图形的边的修正值，其中第k+1次迭代该亚分辨率辅助图形的边的位置为

SRAF_k+1＝SRAF_k+ΔSRAF_k+1。

7.一种电子设备，其特征在于：其包括一个或多个处理器；

存储装置，用于存储一个或多个程序，

当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现如权利要求1-6中任一项所述的亚分辨率辅助图形的修正方法。