[发明专利]显示面板中制备铁电元件的方法、显示面板及制造方法

说明书

本发明是关于一种在显示面板中制备铁电元件的方法。该方法包括：在衬底基板表面至少部分区域形成铁电材料层，对所述衬底基板表面的所述至少部分区域进行激光退火工艺处理，以使所述铁电材料层结晶成相而形成一铁电元件。本发明还涉及一种显示面板及其制造方法。本发明通过对衬底基板上的铁电材料以激光退火工艺处理，使铁电材料结晶成相形成铁电元件，该方法不但使铁电元件稳固牢靠的形成在显示面板中，而且还丰富了显示面板更多的功能和价值。

技术领域

本发明涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种在显示面板中制备铁电元件的方法、显示面板及其制造方法。

背景技术

显示屏是连接人与机器最关键的界面，它最早是以显像管为主，随着显示技术整体水平的进步，人们对显示屏的要求也越来越高，各种显示技术也日新月异。TFT显示面板具有外型轻薄、无辐射、低耗能、显示质量高、可视面积大、应用范围广等优势。

铁电材料是一种应用广泛的信息功能材料，具有压电，热电、电光和非线性光学效应。用铁电材料研制的器件主要有：铁电非易失随机存取存储器、超声换能器、声表面波滤波器、集成光学开光、电光学显示器、铁电相移器、高灵敏度水听器阵列及非致冷电红外焦平面阵列等。

为了丰富显示面板的功能与价值，可以将铁电材料器件整合在显示面板中，但目前在显示面板中形成铁电材料器件有一定的难度。

因此，有必要提供一种新的技术方案改善上述方案中存在的一个或者多个问题。

需要注意的是，本部分旨在为权利要求书中陈述的本发明的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种在显示面板中制备铁电元件的方法、显示面板及其制造方法，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

根据本发明实施例第一方面，提供一种在显示面板中制备铁电元件方法，该方法包括：

提供一衬底基板，在所述衬底基板表面至少部分区域形成铁电材料层；

对所述衬底基板表面的所述至少部分区域进行激光退火工艺处理，以使所述铁电材料层结晶成相而形成一铁电元件。

进一步，所述激光退火工艺为准分子激光退火工艺。

进一步，所述铁电材料为铁酸铋、锆钛酸铅或者钛酸锶铋。

进一步，所述铁电材料的能隙与所述激光的波长相关；所述铁电材料的能隙与所述激光的波长关系为λ＝1.24/Eg，其中λ表示波长，Eg表示能隙。

进一步，所述准分子激光退火工艺中采用的激光的波长小于343nm。

进一步，形成的所述铁电元件为压力感应元件、温度传感元件、铁电存储元件和磁感应元件中的任意一个。

本发明实施例第二方面提供一种显示面板，包括：

衬底基板；

TFT阵列层，形成于所述衬底基板表面；

铁电元件，包括上述实施例第一方面中所述在显示面板中制备铁电元件的方法形成于所述衬底基板表面，该铁电元件与所述TFT阵列层位于同一层；

OLED发光层，形成于所述TFT阵列层远离所述衬底基板的表面。

根据本发明实施例第三方面，提供一种在显示面板中制备铁电元件的方法，该方法包括：

提供一载板玻璃，在该载板玻璃表面形成一牺牲层；

在所述牺牲层表面形成铁电材料层；

对所述铁电材料层进行激光退火工艺处理，以使所述铁电材料层结晶成相而形成一铁电元件。