[发明专利]一种提高电池片效率的扩散工艺在审
| 申请号： | 201910574787.5 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110379885A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 王奎;夏中雪;吴仕梁;路忠林;张凤鸣 | 申请（专利权）人： | 徐州谷阳新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/225;H01L31/068 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电池片效率 扩散工艺 推结 沉积 氮气 太阳能电池片 间隙式扩散 低温状态 物理性质 低成本 规模化 磷元素 氧化层 补源 后区 量产 前区 死层 | ||
1.一种提高电池片效率的扩散工艺，其特征在于，所述扩散工艺包括以下步骤：
步骤一，将待扩散的硅片放于扩散炉中进行升温，升温至780℃；
步骤二，待温度稳定后，将炉内各温区的温度升至780-795℃，同时通入400sccm N2,1200sccm O2和500sccm用于携带POCl3的N2；
步骤三，继续将炉内各温区的温度控制在780-795℃，同时通入650sccm N2,700sccm O2和750sccm携带POCl3的N2；
步骤四，温度稳定后，将炉内各温区的温度升至800-815℃，同时通入1600sccm N2,500sccm用于携带POCl3的N2；
步骤五，继续将炉内各温区的温度控制在800-815℃，同时通入650sccm N2,700sccm O2和750sccm携带POCl3的N2；
步骤六，将炉内各温区的温度升至820-835℃，通入1600sccm N2,500sccm用于携带POCl3的N2；
步骤七，将炉内各温区的温度升至840-855℃，通入2100sccm N2；
步骤八，将炉内各温区的温度升至850-865℃，通入2100sccm N2；
步骤九，将炉内各温区的温度降至810-825℃，通入600sccm N2,1000sccm O2和500sccm用于携带POCl3的N2；
步骤十，继续将炉内各温区的温度控制在810-825℃，通入650sccm N2,800sccm O2和500sccm携带POCl3的N2；
步骤十一，继续降温，回压，取出硅片。
2.根据权利要求1所述的一种提高电池片效率的扩散工艺，其特征在于，步骤二、步骤三、步骤四、步骤六、步骤七、步骤八的反应时间为300s，步骤五的反应时间是250s，步骤九的反应时间是600s，步骤十的反应时间是360s。
3.根据权利要求1所述的一种提高电池片效率的扩散工艺，其特征在于，所述步骤二中，暂不通磷源，进行管路冲洗。
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