[发明专利]清洗槽有效
| 申请号： | 201910479258.7 | 申请日： | 2019-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN110137116B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 赵宝君;张伟锋;夏楠君;祝福生;范文斌 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王娜 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 | ||
1.一种清洗槽，其特征在于，包括槽体和水阻率检测装置；
所述槽体的侧壁上设有出水孔，所述水阻率检测装置设置在所述出水孔；所述槽体的至少其中一侧的侧壁的上沿形成溢流口；
所述水阻率检测装置包括进水口和出水口，所述水阻率检测装置的进水口与所述槽体的出水孔连通；所述水阻率检测装置的出水口低于槽体的溢流口，且所述水阻率检测装置的出水口高于所述水阻率检测装置的进水口。
2.根据权利要求1所述的清洗槽，其特征在于，所述水阻率检测装置包括弯折管、连通管、三通接头和水阻率检测探头；所述三通接头包括第一接口、第二接口和第三接口；所述第一接口和第二接口相对设置，所述第三接口高于所述第一接口和第二接口的高度；
所述弯折管的一端与清洗槽的出水孔连接，所述弯折管的另一端与三通接头的第一接口连接并连通，所述三通接头的第二接口与水阻率检测探头连接；所述三通接头的第三接口为水阻率检测装置的出水口。
3.根据权利要求2所述的清洗槽，其特征在于，所述三通接头的第三接口沿竖直方向向上开口设置。
4.根据权利要求2所述的清洗槽，其特征在于，所述三通接头的第二接口与水阻率检测探头螺纹连接。
5.根据权利要求2所述的清洗槽，其特征在于，所述水阻率检测装置还包括探头保护接头和直接头；
所述探头保护接头连接在水阻率检测探头与直接头之间。
6.根据权利要求2所述的清洗槽，其特征在于，所述弯折管与槽体的出水孔熔焊连接。
7.根据权利要求2所述的清洗槽，其特征在于，所述弯折管与连通管熔焊连接。
8.根据权利要求2所述的清洗槽，其特征在于，所述三通接头的第一接口与连通管熔焊连接；所述三通接头的第二接口与水阻率检测探头熔焊连接。
9.根据权利要求5所述的清洗槽，其特征在于，所述水阻率检测探头与探头保护接头之间螺纹连接，且所述水阻率检测探头及探头保护接头的外侧均设有保护套。
10.根据权利要求5所述的清洗槽，其特征在于，所述探头保护接头与直接头之间螺纹连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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