[发明专利]一种转移微纳样品的结构及制备方法及使用方法

权利要求书

1.一种转移微纳样品的结构，其特征在于，包括载物板、挡板以及基体；

所述载物板与所述挡板连接呈“L”型，所述载物板的一端与所述基体相连，所述基体垂直于所述载物板与所述挡板；

所述载物板上沿靠近所述基体的方向依次为样品区、过渡区以及粘接区；

所述样品区用于搭载待测材料块，所述过渡区用于将所述样品区与所述粘接区分隔开，所述粘接区用于与目标载体进行连接。

2.根据权利要求1所述的转移微纳样品的结构，其特征在于，所述挡板与所述基体之间留有预设的间隙；

所述载物板上还设置有第一支撑区；

所述第一支撑区位于所述样品区靠近所述挡板的一侧；

和/或，所述载物板上还设置有第二支撑区，所述第二支撑区位于所述样品区远离所述挡板的一侧。

3.根据权利要求2所述的转移微纳样品的结构，其特征在于，所述第一支撑区的宽度d、所述挡板的高度Hs以及根据透射电镜实验需求所述转移微纳样品的结构绕所述载物板的长轴方向倾转的角度α，满足公式

d＞Hs*tanα。

4.根据权利要求2所述的转移微纳样品的结构，其特征在于，所述第一支撑区的宽度d、所述挡板的高度Hs、所述样品区的宽度e以及所用聚焦离子束双束系统中电子束与离子束的夹角β，满足公式

d+e＜Hs*tanβ。

5.根据权利要求2所述的转移微纳样品的结构，其特征在于，所述挡板的长度Ls、所述载物板的长度Lc以及所述粘接区的宽度c，满足公式

Ls＝Lc-c。

6.一种基于权利要求1-5任一项所述的转移微纳样品的结构来转移微纳样品的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

S10，提取小于样品区的待测材料块，转移并固定在所述样品区；

S20，将所述待测材料块加工成目标样品，保持所述目标样品的中心位于载物板的顶面的中心；

S30，旋转所述转移微纳样品的结构，使挡板完全遮挡离子束辐照所述目标样品的路径；

S40，将载物板与基体分离，连同所述目标样品转移至靠近目标载体的位置，根据需要，调整压头或勾套结构与所述目标样品的位置关系，并将粘接区与所述目标载体连接。

7.根据权利要求6所述的转移微纳样品的使用方法，其特征在于，所述步骤S10具体包括：将所述待测材料块与第一支撑区和/或第二支撑区连接，使所述待测材料块固定在所述样品区。

8.根据权利要求6所述的转移微纳样品的使用方法，其特征在于，所述步骤S40具体包括：将所述目标样品移动至距离所述压头合适的水平位置，获取所述目标样品的中心高度，移动所述目标样品，使得所述目标样品的中心与所述压头的中心处于同一高度，再将所述粘接区与所述目标载体连接。

9.根据权利要求8所述的转移微纳样品的使用方法，其特征在于，将所述目标样品移动至距离所述压头合适的水平位置具体包括：根据电子束图像确定所述目标样品在X及Y方向的位置，然后将所述目标样品移动至距离所述压头合适的水平位置；

获取所述目标样品的中心高度具体包括：根据离子束图像确定所述目标样品在Z方向的位置，然后移动所述目标样品，使得所述目标样品的中心与所述压头的中心处于同一高度。

10.一种如权利要求1-5任一项所述的转移微纳样品的结构的制备方法，其特征在于，包括：

S101，在圆晶上选取合适大小的矩形区域，在所述矩形区域内初步绘制出若干所述转移微纳样品的结构的模型；

S102，将所述矩形区域连同所述模型从圆晶上分离出来；

S103，对所述模型进行精修，获取最终的所述转移微纳样品的结构。