[发明专利]一种超声波传感器及其制作方法和显示面板

说明书

本申请公开了一种超声波传感器及其制作方法和显示面板，用于提高超声波传感器的信号接收量，提升指纹识别的质量。其中的超声波传感器包括承载基板，以及在所述承载基板上阵列设置的多个接收电极、位于所述多个接收电极上的压电膜层，以及位于所述压电膜层上且与所述多个接收电极相对设置的多个发射电极，一个所述接收电极对应一个所述发射电极；其中，任意一个发射电极与相对的接收电极在所述承载基板的正投影具有重叠区域，且与所述相对的接收电极周围的接收电极在所述承载基板的正投影互不交叠。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种超声波传感器及其制作方法和显示面板。

背景技术

随着显示技术的高速发展，具有生物识别功能的电子设备逐渐进入人们的生活与工作中。例如超声波指纹识别技术是生物识别技术中应用较为广泛的技术之一。

目前的超声波指纹识别技术中，超声波传感器的发射电极和接收电极同时进行信号的收发，发射电极的发射波有可能发射到与之对应的接收电极的相邻接收电极上，即产生信号在相邻的接收电极之间发生串扰的现象，进而导致传感器的信号接收量较低，影响指纹识别的质量。

发明内容

本申请实施例提供一种超声波传感器及其制作方法和显示面板，用于提高超声波传感器的信号接收量，提升指纹识别的质量。

第一方面，本申请实施例提供了一种超声波传感器，该超声波传感器包括承载基板，以及在所述承载基板上阵列设置的多个接收电极、位于所述多个接收电极上的压电膜层，以及位于所述压电膜层上且与所述多个接收电极相对设置的多个发射电极，一个所述接收电极对应一个所述发射电极；其中，

任意一个发射电极与相对的接收电极在所述承载基板的正投影具有重叠区域，且与所述相对的接收电极周围的接收电极在所述承载基板的正投影互不交叠。

在一种可能的实施方式中，任意一个所述发射电极在所述承载基板的正投影完全覆盖相对的接收电极在所述承载基板的正投影；或者，

任意一个所述接收电极在所述承载基板的正投影完全覆盖相对的发射电极在所述承载基板的正投影；或者，

任意一个所述接收电极在所述承载基板的正投影与相对的发射电极在所述承载基板的正投影相互重合。

在一种可能的实施方式中，每个发射电极在所述承载基板的正投影为正方形。

在一种可能的实施方式中，相邻的两个发射电极之间的连接构件在所述承载基板的正投影为正方形。

在一种可能的实施方式中，该超声波传感器还包括：

位于多个所述发射电极远离多个所述接收电极一侧的保护层。

在一种可能的实施方式中，每个所述发射电极沿所述超声传感器的厚度方向的厚度位于[3μm，30μm]范围内。

在一种可能的实施方式中，该超声波传感器还包括：

位于所述保护层和多个所述发射电极之间的背衬电极层；

位于多个所述发射电极和所述背衬电极层之间的绝缘层；

其中，每个所述发射电极和所述背衬电极层的总厚度沿所述超声传感器的厚度方向的厚度位于[10μm，20μm]范围内。

在一种可能的实施方式中，所述绝缘层的厚度小于1μm。

在一种可能的实施方式中，相邻的两个所述发射电极之间还填充有第一介质材料，以使得所述压电膜层与所述多个发射电极相邻的表面平坦。

在一种可能的实施方式中，相邻的两个所述接收电极之间设置有第二介质材料，以使得所述压电膜层与所述多个接收电极相邻的表面平坦。