[发明专利]阵列基板及其制造方法、显示面板及电子装置

说明书

一种阵列基板及其制造方法、显示面板及电子装置被提供，所述显示面板包括：柔性衬底，具有平坦部、第一岛状部及第二岛状部，第一岛状部和第二岛状部从平坦部延伸凸起，且相互间隔设置；半导体器件，设置在柔性衬底的平坦部上；以及有机电致发光器件，设置在半导体器件上。本申请解决了现有技术中柔性显示面板弯折后膜层容易剥离走线易发生断裂的问题。

技术领域

本申请涉及一种显示技术，特别涉及一种阵列基板及其制造方法、显示面板及电子装置。

背景技术

有机发光二极体(Organic Light Emitting Diode,OLED)显示面板中，每个画素结构包括一个有机电致发光(Organic Electroluminescence,EL)器件，其包括阳极、阴极和设置在二者之间的发光层，发光层在阳极和阴极之间的电场驱动下，通过载流子注入和复合而导致发光。

图1显示一种现有的柔性OLED显示面板的示意图。如图1所示，现有的柔性OLED显示面板包括柔性衬底(如聚酰亚胺基板)11、介质层12、缓冲层 13、半导体层14、栅极绝缘层15、栅极层16、无机的第一层间绝缘层17、有机的第二层间绝缘层18、源极漏极金属层19、平坦层20、阳极金属层21、像素定义层22及间隔柱23。现有的柔性OLED显示面板还包括第二层间绝缘层 18延伸至第一凹槽所形成的第一反岛状部24及延伸至第二凹槽所形成的第二反岛状部25。第一反岛状部24和第二反岛状部25为有机材质，作为弯折区，用以提供柔性OLED显示面板弯折所需的柔性。

现有技术需要两道蚀刻制程形成第一反岛状部24和第二反岛状部25，第一道蚀刻制程蚀刻形成第一反岛状部24和第二反岛状部25的上半部，第二道蚀刻制程进一步对第二反岛状部25进行蚀刻，形成第二反岛状部25的下半部，存在蚀刻工序复杂繁琐的问题。再者，现有技术通过蚀刻无机绝缘层形成第一反岛状部24和第二反岛状部25，由于无机绝缘层被蚀刻后，水氧容易沿着膜层界面进入，第一反岛状部24和第二反岛状部25对应弯折区，第一反岛状部 24和第二反岛状部25被弯折后，易造成膜层截面与第一反岛状部24和第二反岛状部25剥离，或与柔性衬底11剥离，且第一反岛状部24和第二反岛状部 25上方的金属层(如源漏极走线)26易发生断裂。

发明内容

本申请的目的在于提供一种阵列基板及其制造方法、显示面板及电子装置，以解决现有技术中阵列基板膜层容易剥离走线易发生断裂的问题。

为实现上述目的，本申请一方面提供一种阵列基板，包括：

柔性衬底，具有平坦部以及从所述平坦部延伸凸起的岛状部。

本申请实施例中，所述岛状部包括第一岛状部及第二岛状部，所述第一岛状部和所述第二岛状部相互间隔设置。

本申请实施例中，所述阵列基板还包括阵列结构层，所述阵列结构层包括：

半导体层，设置于所述柔性衬底具有所述平坦部及所述岛状部的一侧；

第二绝缘层，设置于所述半导体层上；

栅极层，设置于所述第二绝缘层上；

第三绝缘层，设置于所述栅极层及所述第二绝缘层上；

源极漏极金属层，设置于所述第三绝缘层上，并填入所述第二绝缘层及所述第三绝缘层中形成的源极过孔和漏极过孔，通过所述源极过孔及所述漏极过孔与所述半导体层电连接，

其中所述柔性衬底的所述岛状部暴露于所述第三绝缘层。

本申请实施例中，所述阵列结构层还包括

第四绝缘层，设置于所述第三绝缘层上，所述第四绝缘层为有机层，其中所述柔性衬底的所述岛状部落在所述第四绝缘层中。

本申请另一方面提供一种阵列基板的制造方法，包括：

提供一载板；以及